Издателям
Вышедшие номера
Особенности генерации и движения дислокаций в термообработанных пластинах кремния
Меженный М.В.1, Мильвидский М.Г.2, Павлов В.Ф.1, Резник В.Я.2
1ФГУП "Гиредмет", Москва, Россия
2Институт химических проблем микроэлектроники, Москва, Россия
Email: icpm@mail.girmet.ru
Поступила в редакцию: 16 июля 2001 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2002 г.

Методом четырехточечного изгиба изучены особенности генерации и движения дислокаций в монокристаллических пластинах кремния после различных термообработок. Показано, что отжиг пластин при 450oC приводит к существенному упрочнению пластин по сравнению с ростовым состоянием. Образующиеся в объеме пластин в процессе многоступенчатых термообработок кислородсодержащие перципитаты в преципитатно-дислокационные скопления являются эффективными центрами гетерогенного зарождения дислокаций под действием термических или механических напряжений. Обнаружено существенное разупорядочение пластин, подвергнутых многоступенчатым термообработкам в режиме формирования в их объеме внутреннего геттера. Установлена существенная роль температурно-временных режимов низкотемпературной стадии многоступенчатой термообработки в формировании дефектного состояния в матрице кристаллической решетки кремния и прочностных характеристик пластин.
  • H. Alexander. In: Dislocation in Solids / Ed. F.R.N. Nabarro. Elsevier, Amsterdam (1986). V. 7. Ch. 35. P. 113--235
  • K. Sumino. In: Proc. 1-st Int Autumn School on Gettering and Defect Enginnering in the Semiconductor Technology. / Ed. H. Richter, Garzau (1985). P. 41
  • S. Senkader, K. Jurkschat, D. Gambaro, R.J. Falster, P.R. Wilshaw. Phil. Mag. A81, 3, 759 (2001)
  • V. Peidous, K.V. Loiko. Electrochem. Soc. Proc. 17, 145 (2000)
  • I.V. Peidous, K.V. Loiko, N. Balasubramaniam, T. Schuelke. Electrochem. Soc. Proc. 17, 180 (2000)
  • К.Л. Енишерлова, М.Г. Мильвидский, В.Я. Резник, Т.Ф. Русак. Кристаллография 36, 5, 1259 (1991)
  • М.В. Меженный, М.Г. Мильвидский, В.Ф. Павлов, В.Я. Резник. ФТТ 43, 1, 47 (2001)
  • B.Ya. Farber, V.I. Nikitenko. Phys. Stat. Sol. A73. K141 (1982)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.