Вышедшие номера
Особенности генерации и движения дислокаций в монокристаллах кремния, легированных азотом
Меженный М.В.1, Мильвидский М.Г.1, Резник В.Я.1
1Институт химических проблем микроэлектроники, Москва, Россия
Email: icpm@mail.girmet.ru
Поступила в редакцию: 21 сентября 2001 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2002 г.

Изучены особенности генерации и движения дислокаций в легированных азотом монокристаллах кремния, выращенных методом Чохральского. Движение дислокационных петель изучалось методом четырехточечного изгиба в интервале температур 500-800oC. Дислокационные петли предварительно вводили при комнатной температуре с помощью индентора Кнуппа. Установлено, что легирование азотом приводит к существенному увеличению критических напряжений начала движения дислокаций от поверхностных источников (отпечатков индентора). Также наблюдается увеличение напряжений генерации дислокаций от внутренних источников. Легирование кремния азотом приводит к уменьшению скорости движения дислокаций по сравнению с нелегированным материалом (при сопоставимых нагрузках). Упрочняющее действие азота объясняется ускоряющим влиянием азота на распад твердого раствора кислорода в кремнии в процессе посткристаллизационного охлаждения.