Издателям
Вышедшие номера
Формирование сверхтонких слоев силицидов железа на поверхности монокристаллического кремния
Гомоюнова М.В.1, Малыгин Д.Е.1, Пронин И.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: marina.gomoyunova@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 2 февраля 2006 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2006 г.

Методом фотоэлектронной спектроскопии высокого разрешения с использованием синхротронного излучения изучен твердофазный синтез силицидов железа на поверхности Si(100)2x1, на которую при комнатной температуре была нанесена пленка железа толщиной 5 ML. С помощью компьютерного моделирования измеренных Si 2p-спектров показано, что процесс силицидообразования в исследованной системе обнаруживается уже при отжиге образца до 60oC и состоит в последовательном формировании трех фаз силицидов железа --- моносилицида varepsilon-FeSi, метастабильного дисилицида gamma-FeSi2 и дисилицида beta-FeSi2. Определены температурные диапазоны существования этих фаз. Обнаружена сегрегация кремния на поверхности gamma-FeSi2. Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (проект N 04-02-17651), Федерального агентства по науке и инновациям РФ (госконтракт N 02.434.11.2027) и Российско-германской лаборатории на синхротроне BESSY. PACS: 68.37.Xy, 68.43.Bc, 68.43.Dc, 68.55.Jk, 68.60.Wm
  • J. Alvarez, J.J. Hinarejos, E.G. Michel, G.R. Castro, R. Miranda. Phys. Rev. B 45, 14 042 (1992)
  • J.M. Gallego, J.M. Garcia, J. Alvarez, R. Miranda. Phys. Rev. B 46, 13 339 (1992)
  • N. Onda, J. Henz, E. Muller, K.A. Mader, H. von Kanel. Appl. Surf. Sci. 56--58, 421 (1992)
  • W. Raunau, H. Niehus, G. Comsa. Surf. Sci. 284, L375 (1993)
  • F. Sirotti, M. DeSantis, X. Jin, G. Rossi. Phys. Rev. B 49, 11 134 (1994)
  • K Ruhrnschopf, D. Borgmann, G. Wedler. Thin Solid Films 280 171 (1996)
  • J. Chrost, J.J. Hinarejos, P. Segovia, E.G. Michel, R. Miranda. Surf. Sci. 371, 297 (1997)
  • R. Klasges, C. Carbone, W. Everhardt, C. Pampuch, O. Rader, T. Kachel, M. Gudat. Phys. Rev. B 56, 10801 (1997)
  • S. Hajjar, G. Garreau, S. Pelletier, P. Bertoncini, P. Wetzel, G. Gewinner, M. Imhoff, C. Pirri. Surf. Sci. 532--535, 940 (2003)
  • K. Radermacher, R. Carius, S. Mantl. Nucl. Instr. Meth. B 84, 163 (1994)
  • M. Tanaka, Y. Kumagai, T. Suemasu, F. Hasegawa. Appl. Surf. Sci. 117/118, 303 (1997)
  • N. Minami, D. Makino, T. Matsumura, C. Egawa, T. Sato, K. Ota, S. Ino. Surf. Sci. 514, 211 (2002)
  • М.В. Гомоюнова, И.И. Пронин, Д.Е. Малыгин, С.М. Соловьев, Д.В. Вялых, С.Л. Молодцов. ЖТФ 75, 106 (2005)
  • М.В. Гомоюнова, И.И. Пронин. ЖТФ 74, 1 (2004)
  • A. Ishizaka, Y. Shiraki. J. Electrochim. Soc. 133, 666 (1986)
  • D.A. Shirley. Phys. Rev. B 5, 4709 (1972)
  • М.В. Гомоюнова, И.И. Пронин, Н.Р. Галль, С.Л. Молодцов, Д.В. Вялых. ФТТ 45, 1519 (2003)
  • F. Sirotti, M. Do Santis, G. Rossi. Phys. Rev. B 48, 8299 (1993)
  • J. Alvarez, J.J. Hinarejos, E.G. Michel, J.M. Gallego, R. Miranda. Surf. Sci. 251--252, 59 (1991)
  • J.M. Gallego, R. Miranda. J. Appl. Phys. 69, 1377 (1991)
  • B. Egert, G. Panzner. Phys. Rev. B 29, 2091 (1984)
  • F.J. Himpsel, G. Hollinger, R.A. Pollak. Phys. Rev. B 28, 7014 (1983)
  • H. Busse, J. Kandler, E. Eltester, K. Wandelt, G.R. Castro, J.J. Hinarejos, P. Segovia, J. Chrost, E.G. Michel, R. Miranda. Surf. Sci. 381, 133 (1997)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.