Издателям
Вышедшие номера
Формирование сверхтонких слоев силицидов железа на поверхности монокристаллического кремния
Гомоюнова М.В.1, Малыгин Д.Е.1, Пронин И.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: marina.gomoyunova@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 2 февраля 2006 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2006 г.

Методом фотоэлектронной спектроскопии высокого разрешения с использованием синхротронного излучения изучен твердофазный синтез силицидов железа на поверхности Si(100)2x1, на которую при комнатной температуре была нанесена пленка железа толщиной 5 ML. С помощью компьютерного моделирования измеренных Si 2p-спектров показано, что процесс силицидообразования в исследованной системе обнаруживается уже при отжиге образца до 60oC и состоит в последовательном формировании трех фаз силицидов железа --- моносилицида varepsilon-FeSi, метастабильного дисилицида gamma-FeSi2 и дисилицида beta-FeSi2. Определены температурные диапазоны существования этих фаз. Обнаружена сегрегация кремния на поверхности gamma-FeSi2. Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (проект N 04-02-17651), Федерального агентства по науке и инновациям РФ (госконтракт N 02.434.11.2027) и Российско-германской лаборатории на синхротроне BESSY. PACS: 68.37.Xy, 68.43.Bc, 68.43.Dc, 68.55.Jk, 68.60.Wm
  1. J. Alvarez, J.J. Hinarejos, E.G. Michel, G.R. Castro, R. Miranda. Phys. Rev. B 45, 14 042 (1992)
  2. J.M. Gallego, J.M. Garcia, J. Alvarez, R. Miranda. Phys. Rev. B 46, 13 339 (1992)
  3. N. Onda, J. Henz, E. Muller, K.A. Mader, H. von Kanel. Appl. Surf. Sci. 56--58, 421 (1992)
  4. W. Raunau, H. Niehus, G. Comsa. Surf. Sci. 284, L375 (1993)
  5. F. Sirotti, M. DeSantis, X. Jin, G. Rossi. Phys. Rev. B 49, 11 134 (1994)
  6. K Ruhrnschopf, D. Borgmann, G. Wedler. Thin Solid Films 280 171 (1996)
  7. J. Chrost, J.J. Hinarejos, P. Segovia, E.G. Michel, R. Miranda. Surf. Sci. 371, 297 (1997)
  8. R. Klasges, C. Carbone, W. Everhardt, C. Pampuch, O. Rader, T. Kachel, M. Gudat. Phys. Rev. B 56, 10801 (1997)
  9. S. Hajjar, G. Garreau, S. Pelletier, P. Bertoncini, P. Wetzel, G. Gewinner, M. Imhoff, C. Pirri. Surf. Sci. 532--535, 940 (2003)
  10. K. Radermacher, R. Carius, S. Mantl. Nucl. Instr. Meth. B 84, 163 (1994)
  11. M. Tanaka, Y. Kumagai, T. Suemasu, F. Hasegawa. Appl. Surf. Sci. 117/118, 303 (1997)
  12. N. Minami, D. Makino, T. Matsumura, C. Egawa, T. Sato, K. Ota, S. Ino. Surf. Sci. 514, 211 (2002)
  13. М.В. Гомоюнова, И.И. Пронин, Д.Е. Малыгин, С.М. Соловьев, Д.В. Вялых, С.Л. Молодцов. ЖТФ 75, 106 (2005)
  14. М.В. Гомоюнова, И.И. Пронин. ЖТФ 74, 1 (2004)
  15. A. Ishizaka, Y. Shiraki. J. Electrochim. Soc. 133, 666 (1986)
  16. D.A. Shirley. Phys. Rev. B 5, 4709 (1972)
  17. М.В. Гомоюнова, И.И. Пронин, Н.Р. Галль, С.Л. Молодцов, Д.В. Вялых. ФТТ 45, 1519 (2003)
  18. F. Sirotti, M. Do Santis, G. Rossi. Phys. Rev. B 48, 8299 (1993)
  19. J. Alvarez, J.J. Hinarejos, E.G. Michel, J.M. Gallego, R. Miranda. Surf. Sci. 251--252, 59 (1991)
  20. J.M. Gallego, R. Miranda. J. Appl. Phys. 69, 1377 (1991)
  21. B. Egert, G. Panzner. Phys. Rev. B 29, 2091 (1984)
  22. F.J. Himpsel, G. Hollinger, R.A. Pollak. Phys. Rev. B 28, 7014 (1983)
  23. H. Busse, J. Kandler, E. Eltester, K. Wandelt, G.R. Castro, J.J. Hinarejos, P. Segovia, J. Chrost, E.G. Michel, R. Miranda. Surf. Sci. 381, 133 (1997)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.