Вышедшие номера
Электрическое сопротивление и 1/f-флуктуации в тонких пленках титана
Геращенко О.В.1, Матвеев В.А.1, Плешанов Н.К.1, Байрамуков В.Ю.1
1Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова, Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Гатчина, Ленинградская область, Россия
Email: gerashch@pnpi.spb.ru
Поступила в редакцию: 16 декабря 2013 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2014 г.

Определена толщина металлического слоя, исследованы электрическое удельное сопротивление и спектральная плотность флуктуаций напряжения в тонких пленках титана с исходной толщиной 5-100 nm, полученных магнетронным напылением и предназначенных для перспективных элементов нейтронной оптики. Обнаружено, что в даже в самых тонких образцах сохраняется необходимый для функционирования сплошной металлический слой, при этом наблюдаются избыточные флуктуации его сопротивления со спектром 1/f-типа. Показано, что метод измерения электрического сопротивления пленки можно использовать как эффективный экспресс-метод определения толщин металлических нанослоев. Работа поддержана Российским фондом фундаментальных исследований гранты N 12-02-12066-офи-м и N 12-02-31625 мол а.
  1. N.K. Pleshanov. Nucl. Instrum. Methods A 613, 15 (2010)
  2. N.K. Pleshanov, A.P. Bulkin, V.G. Syromyatnikov. Nucl. Instrum. Methods A 634, 63 (2011)
  3. V.A. Matveev, N.K. Pleshanov, A.P. Bulkin. J. Phys.: Conf. Ser. 340, 012 086 (2012)
  4. F.N. Hooge. Phys. Lett. A 29, 139 (1969)
  5. F.N. Hooge, T.G.M. Kleinpenning, L.K.J. Vandamme. Rep. Prog. Phys. 44, 479 (1981)
  6. Г.Н. Бочков, Ю.Е. Кузовлев. УФН 141, 151 (1983)
  7. Ш.М. Коган. УФН 145, 285 (1985)
  8. F.N. Hooge. Physica B 162, 344 (1990)
  9. Sh. Kogan. Electronic noise and fluctuations in solids. Cambridge University Press, Cambridge (1996). 354 p
  10. Г.П. Жигальский. УФН 173, 465 (2003)
  11. В.Б. Лазарев, В.В. Соболев, И.С. Шаплыгин. Химические и физические свойства простых оксидов металлов. Наука, М. (1983). 239 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.