Издателям
Вышедшие номера
Структура и фазовый состав пленок SrTiO3, полученных вч-магнетронным распылением
Балашова Е.В.1, Гольцман Б.М.1, Зайцева Н.В.1, Мосина Г.Н.1, Сорокин Л.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 10 марта 1995 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1995 г.

Структура и фазовый состав пленок SrTiO3 (STO), полученных ВЧ-магнетронным распылением на подложке из монокристаллического Si (111), изучались методами просвечивающей электронной микроскопии и рентгеновской дифрактометрии. Установлена зависимость изменения (релаксации) постоянной решетки пленок от степени их текстурированности. Обнаружены примесные фазы в виде включений в кристаллические зерна основного материала и определен их состав. Исследовано влияние концентрации примесных фаз на величину диэлектрической проницаемости пленок.
  • Томашпольский Ю.А. Пленочные сегнетоэлектрики. М. (1982). 191 с
  • Дудкевич В.П., Фесенко Е.Г. Физика сегнетоэлектрических пленок. Ростов-на-Дону (1972). 190 с
  • Блистанов А.А., Бондаренко В.С., Переломова Н.В., Стрижевская Ф.Н., Чкалова В.В., Шаскольская М.П. Акустические кристаллы. М. (1982). 632 c
  • Argunova T.S., Goltsman B.M., Efimova T.P., Zhukova T.B., Mosina G.N., Sorokin L.M., Shaplygina T.A., Scheglov M.P. Ferroelectrics \bf 144, \it 2, 213 (1993)
  • Wang P.C., Chen Z.L., He X.M. Ferroelectrics Lett. \bf 4, 47 (1985)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.