Вышедшие номера
Гомодинный квадратурный интерферометр перемещений. Эксперимент
Вишняков Г.Н.1,2, Минаев В.Л.1,3, Шумский Е.В.1
1Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва, Россия
2Университет "МГТУ имени Н.Э. Баумана", Москва, Россия
3Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики», Москва, Россия
Email: minaev@vniiofi.ru
Поступила в редакцию: 20 января 2022 г.
В окончательной редакции: 20 января 2022 г.
Принята к печати: 1 февраля 2022 г.
Выставление онлайн: 6 июня 2022 г.

Приведены экспериментальные исследования работы макета гомодинного квадратурного интерферометра перемещений. В блоке регистрации гомодинного интерферометра вместо поляризационного светоделителя используются неполяризационный светоделительный кубик и два поляризатора. Это добавило дополнительные степени свободы при юстировке оптических каналов регистрации интерференционных сигналов и позволило достичь необходимый сдвиг фаз между ними 90o с точностью 0.1o. В результате этого экспериментально достигнута погрешность измерения перемещения, равная 0.2 nm. Получены обобщенные выражения для квадратурных сигналов в случае произвольных азимутов поляризаторов в трех каналах регистрации интерференционных сигналов. Проведена теоретическая оценка точности измерений перемещения с помощью квадратурного гомодинного интерферометра и получено, что расширенная неопределенность таких измерений не превышает величины 0.3 nm. Ключевые слова: интерферометр перемещений, гомодинный, квадратурный сигнал, ватт-весы.
  1. Г.Н. Вишняков, В.Л. Минаев. Опт. и спектр. 129 (10), 1306 (2021). DOI: 10.21883/OS.2021.10.51498.2400-21
  2. J. Cui, Z. He, Y. Jiu, J. Tan, T. Sun. Appl. Opt. 55 (25), 7086 (2016). DOI: 10.1364/AO.55.007086
  3. C.-m. Wu, C.-s. Su. Meas. Sci. Technol., 7 (1), 62 (1996). DOI: 10.1088/0957-0233/7/1/009
  4. J. Ahn, J.-a. Kim, C.-s. Kang, J.W. Kim, S. Kim. Opt. Express. 17 (25), 23299 (2009). DOI: 10.1364/OE.17.023299
  5. C. Wang, Q. Huang, X. Ding, R. Cheng, L. Zhang, R. Li, H. Li. Appl. Sci., 10 (17), 6060 (2020). DOI: 10.3390/app10176060
  6. C.-m. Wu, C.-s. Su, G.-S. Peng. Meas. Sci. Technol., 7 (4), 520 (1996). DOI: 10.1088/0957-0233/7/4/009
  7. H. Toba, Z. Liu, S. Udagava, N. Fujiwara, S. Nakayama, T. Gemma, M. Takeda. Opt. Eng., 58 (8), 084103 (2019). DOI: 10.1117/1.OE.58.8.084103
  8. Гост 8.381-2009. ГСИ. Эталоны. Способы выражения точности
  9. В.П. Коронкевич, В.С. Соболев, Ю.Н. Дубнищев. Лазерная интерферометрия (Наука, Новосибирск, 1983)
  10. Д.Э. Денк. Автометрия, 44 (2), 16 (2008)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.