Вышедшие номера
Эллипсометрия металлических пленок в условиях аномального скин-эффекта
Министерство образования Республики Беларусь, Фотоника и электроника для инноваций, 1.15
Сотский А.Б. 1, Чудаков Е.А.2, Сотская Л.И. 3
1Могилевский государственный университет имени А.А. Кулешова, Могилев, Республика Беларусь
2Могилевский государственный университет имени А.А. Кулешова, Могилев, Беларусь
3Белорусско-Российский университет, Могилев, Республика Беларусь
Email: ab_sotsky@mail.ru, kenni_mark@bk.ru, li_sotskaya@tut.by
Поступила в редакцию: 26 февраля 2021 г.
В окончательной редакции: 28 февраля 2021 г.
Принята к печати: 19 марта 2021 г.
Выставление онлайн: 25 апреля 2021 г.

Сформулированы интегральные уравнения Фредгольма второго рода, описывающие поля волн ТЕ- и ТМ-поляризации в металлических пленках с учетом аномального скин-эффекта. Уравнения допускают численное решение методом квадратур. Исследованы электрические поля в золотых и алюминиевых пленках, расположенных на кремниевой подложке, и угловые зависимости поляризационных углов отраженного от пленок света. Установлено, что для решения обратной задачи многоугловой эллипсометрии металлических пленок с использованием приближения нормального скин-эффекта характерна нестабильность восстановленного комплексного показателя преломления металла при изменении толщины металлической пленки. Ключевые слова: металлическая пленка, аномальный скин-эффект, интегральные уравнения, многоугловая эллипсометрия.
  1. Lin J., Jiang H., Gu H., Chen X., Zhang C., Liao G., Liu S. // Physica Scripta. 2019. V. 94. P. 085802-1. doi 10.1088/1402-4896/ab1606
  2. Минкович В.П., Сотский А.Б., Шилов А.В., Сотская Л.И. // Журнал прикл. спектр. 2019. Т. 86. N 1. С. 128; Minkovich V.P., Sotsky A.B., Shilov A.V., Sotskaya L.I. // J. Applied Spectroscopy. 2019. V. 86. N 1. P. 112. doi 0021-9037/19/8601-0112
  3. Соколов А.В. Оптические свойства металлов. М: ГИФМЛ, 1961. 464 с
  4. Reuter G.E.H., Sondheimer E.H. // Proc. R. Soc. Lond. 1948. V. 195. P. 336. doi 10.1098/rspa.1948.0123
  5. Сотский А.Б., Парашков С.О., Василенко А.Н. // Проблемы физики, математики и техники. 2015. T. 22. N 1. С. 21
  6. Iakushev D., Lopez-Aguayo S. // JOSA B. 2017. V. 34. N 11. P. 2421. doi: 10.1364/JOSAB.34.002421
  7. Bennett H.E., Bennett J.M., Ashley E.J., Motyka R.J. // Phys. Rev. 1968. V. 165. N 3. P. 755-765. doi 10.1103/PhysRev.165.755
  8. Dingle R.B., Dingle R.B. // Physica. 1953. V. 19. Issues 1-12. P. 348. doi 10.1016/S0031-8914(53)80036-4
  9. Сотский А.Б. Теория оптических волноводных элементов. Могилев: УО "МГУ им. А.А. Кулешова". 2011. 456 с
  10. Румер Ю.Б., Рывкин М.Ш. Термодинамика, статистическая физика и кинетика. М.: Наука, 1972. 400 с
  11. Крылов В.И., Бобков В.В., Монастырный П.И. Вычислительные методы. Т. 2. М.: Наука, 1977. 399 с
  12. Palik E.D. Handbook of Optical Constants of Solids. Washington, D.C.: Naval Research Laboratory, 1985. P. 547. doi 10.1016/C2009-0-20920-2
  13. Johnson P.B., Christy R.W. // Phys. Rev. B. 1972. V. 6. N 12. P. 4370. doi 10.1103/physrevb.6.4370
  14. Rakic A.D. // Applied Optics. 1995. V. 34. N 22. P. 4755. doi 10.1364/AO.34.004755
  15. Echaniz T., Perez-Saez R.B., Tello M.J. // J. Appl. Phys. 2014. V. 116. P. 093508. doi 10.1063/1.4894169
  16. Kangarlow H., Aghgonband M.M. // Opt. Spectrosc. 2013. V. 115. N 5. P. 753. doi 10.1134/S0030400X13110088

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.