Рентгенолюминесценция толстых пленок оксида цинка
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Госзадание
Russian Foundation for Basic Research, мк, 18-29-12099
Russian Foundation for Basic Research, ЭРА_а, 18-52-76002
Веневцев И.Д.1, Родный П.А.1, Муслимов А.Э.2, Каневский В.М.2, Бабаев В.А.3, Исмаилов А.М.3
1Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
2Федеральный научно-исследовательский центр "Кристаллография и Фотоника" Российской академии наук, Москва, Россия
3Дагестанский государственный университет, Махачкала, Россия
Email: Venevtsev.Ivan@gmail.com
Выставление онлайн: 19 ноября 2019 г.
Исследованы образцы толстых плёнок (порядка 30 μm) нелегированного оксида цинка на сапфире, полученных методом магнетронного напыления с использованием неохлаждаемой мишени. Были изучены структурные и люминесцентные свойства исходных плёнок и плёнок, прошедших дополнительный рекристаллизационный отжиг в воздушной атмосфере. Также рассмотрены временные и температурно-зависимые характеристики образцов. Показано, что отжиг в воздухе приводит к улучшению структурных, оптических и люминесцентных свойств полученной плёнки. Ключевые слова: толстые плёнки ZnO, метод магнетронного распыления, зеленая люминесценция ZnO, температурная зависимость рентгенолюминесценции, электронная микроскопия, неохлаждаемая мишень.
- Родный П.А., Черненко К.А., Веневцев И.Д. // Опт. и спектр. 2018. Т. 125. N 3. С. 357. doi 10.21883/OS.2018.09.46551.141-1; Rodnyi P.A., Chernenko K.A., Venevtsev I.D. // Opt. Spectrosc. 2018. V. 125. N 3. P. 372. doi 10.1134/S0030400X18090205
- Wagner M.R., Callsen G., Reparaz G.S., Schulze J.-H., Kirste R., Cobet M., Ostapenko I.A., Rodt S., Nenstiel C., Kaiser M., Hoffmann A., Rodina A.V., Phillips M.R., Lautenschlager S., Eisermann S., Meyer B.K. // Phys. Rev. B. 2011. V. 84. P. 035313. doi 10.1103/PhysRevB.84.035313
- Meyer B.K., Alves H., Hofmann D.M., Kriegseis W., Forster D., Bertram F., Christen J., Hoffmann A., Strassburg M., Dworzak M., Haboeck U., Rodina A.V. // Phys. Stat. Sol. (b). 2004. V. 241. P. 231. doi 10.1002/pssb.200301962
- Горохова Е.И., Еронько С.Б., Орещенко Е.А., Сандуленко А.В., Родный П.А., Черненко К.А., Веневцев И.Д., Кульков А.М., Muktepavela F., Boutachkov P. // Оптический журнал. 2018. Т. 85. N 11. С. 90. doi 10.17586/1023-5086-2018-85-11-90-100
- Oka K., Shibata H., Kashiwaya S. // J. Cryst. Growth. 2002. V. 237. N 1. P. 509. doi 10.1016/S0022-0248(01)01953-4
- Huang F., Lin Z., Lin W., Zhang J., Ding K., Wang Y., Zheng Q., Zhan Z. Yan F., Chen D., Lv P., Wang X. // Chin. Sci. Bull. 2014. V. 59. N 12. P. 1235. doi 10.1007/s11434-014-0154-4
- Neal J., Boatner L., Giles N.C., Halliburton L., Derenzo S., Bourret-Courchesne E.D. // Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A. 2006. V. 568. P. 803. doi 10.1016/j.nima.2006.09.041
- Cyviene J., Dudonis J., Laurikaitis M., Rakauskas A., Milcius D. // Surf. Coat. Technol. 2004. V. 180-181. P. 53. doi 10.1016/j.surfcoat.2003.10.036
- Laurikaitis M., Cyviene J., Dudonis J. // Vacuum. 2005. V. 78. P. 395. doi 10.1016/j.vacuum.2005.01.056
- Исмаилов А.М., Эмирасланова Л.Л., Рабаданов М.Х., Рабаданов М.Р., Алиев И.Ш. // Письма в ЖТФ. 2018. Т. 44. В. 12. С. 52. doi 10.21883/PJTF.2018.12.46291.16792; Ismailov A.M., Emiraslanova L.L., Rabadanov M.K., Rabadanov M.R., Aliev I.Sh. // Tech. Phys. Lett. 2018. V. 44. P. 528. doi 10.1134/S1063785018060202
- Буташин А.В., Власов В.П., Каневский В.М., Муслимов А.Э., Фёдоров В.А. // Кристаллография. 2012. Т. 57. N 6. С. 927; Butashin A.V., Vlasov V.P., Kanevskii V.M., Muslimov A.E., Fedorov V.A. // Crystallography Reports. 2012. V. 57. N 6. P. 824. doi 10.1134/S1063774512060193
- Власов В.П., Буташин А.В., Каневский В.М., Муслимов А.Э., Бабаев В.А., Исмаилов А.М., Рабаданов М.Х. // Кристаллография. 2014. Т. 59. N 3. С. 467. doi 10.7868/S0023476114030230; Vlasov V.P., Butashin A.V., Kanevskii V.M., Muslimov A.E., Babaev V.A., Ismailov A.M., Rabadanov M.Kh. // Crystallography Reports. 2014. V. 59. N 3. P. 422. doi 10.1134/S1063774514030201
- Rodnyi P.A., Mikhrin S.B., Mishin A.N., Sidorenko A.V. // IEEE Trans. Nucl. Sci. 2001. V. 48. N 6. P. 2340. doi 10.1109/23.983264
- Буташин А.В., Каневский В.М., Муслимов А.Э., Ракова Е.В., Михайлов В.И., Бабаев В.А., Исмаилов А.М., Рабаданов М.Х. // Кристаллография. 2014. Т. 59. N 3. С. 463. doi 10.7868/S0023476114030072; Butashin A.V., Kanevskii V.M., Muslimov A.E., Rakova E.V., Mikhailov V.I., Babaev V.A., Ismailov A.M., Rabadanov M.Kh. // Crystallography Reports. 2014. V. 59. N 3. P. 418. doi 10.1134/S1063774514030067
- Ozgur U., Alivov Y.J., Liu C., Teke A., Reshchikov M.A., Dogan S., Avrutin V., Cho S.-J., Morkoc H. // J. Appl. Phys. 2005. V. 98. P. 041301. doi 10.1063/1.1992666
- Stavale F., Pascua L., Nilius N., Freund H.-J. // J. Phys. Chem. C. 2014. V. 118. N 25. P. 13693. doi 10.1021/jp5035536
- Sun S., Chang X., Li X., Li Z. // Ceram. Int. 2013. V. 39. N 5. P. 5197. doi 10.1016/j.ceramint.2012.12.018
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.