Исследование возможности измерения радиусов зеркал приборами с датчиками волнового фронта
Сахаров А.А.
1, Пискунов Т.С.
1, Барышников Н.В.
1, Животовский И.В.
1, Мухина Е.Е.
1, Вязовых М.В.
11Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва, Россия
Email: smx@bmstu.ru, thedistorted@yandex.ru, baryshnikov@bmstu.ru, ivj@bmstu.ru, e-muhina@mail.ru, maxvyaz@bmstu.ru
Выставление онлайн: 19 сентября 2019 г.
Разработана методика измерения радиусов кривизны оптических деталей. Предложена схема прибора на основе датчика волнового фронта, реализующего минимальную погрешность измерения. Приведено теоретическое обоснование методики измерений. Рассмотрен ряд способов, позволяющих измерять радиусы кривизны оптических деталей. Проведен анализ причин увеличения погрешности измерений. Рассмотрены результаты измерения по приведенной методике макетным образцом прибора, изготовленным авторами. Ключевые слова: радиус зеркала, метрология, датчик Шака-Гартмана, датчик волнового фронта, радиус кривизны, методика измерений, погрешности измерений, Zemax. -19
- Nikitin A., Sheldakova J., Kudryashov A., Denisov D., Karasik V., Sakharov A. // Proc. SPIE. 2015. V. 9369. P. 936905-1. doi 10.1117/12.2085263
- Srivastava A.K., Sati K.C., Satyander Kumar // Int. J. Scientific \& Engineering Research. 2017. V. 8. N 7. P. 1752
- Yang Z., Gao Z., Yuan Q. // Opt. and Las. in Engin. 2014. V. 56. P. 35. doi 10.1016/j.optlaseng.2013.12.008
- Kovalev M.S., Krasin G.K., Odinokov S.B., Solomashenko A.B., Zlokazov E.Yu. // Opt. Express. 2019. V. 27. P. 1563. doi 10.1364/OE.27.001563
- Platt B.C., Shack R. // J. Refract. Surg. 2001. V. 17. N 5. P. 573. doi 10.3928/1081-597X-20010901-13
- Southwell W. // J. Opt. Soc. Am. 1980. V. 70 N 8. P. 998. doi 10.1364/JOSA.70.000998
- Компания "Активная Оптика" Датчик Шака-Гартмана WFS-11.26-3.2-0.136 [Электронный ресурс] Режим доступа: http://www.activeoptics.ru/files/products/files/shws/ shws.htm\#show11
- Neal D.R., Copland J., Neal D.A. // Proc. SPIE. 2002. V. 4779. P. 148. doi 10.1117/12.450850
- Chernyshov A., Sterr U., Riehle F., Helmcke J., Pfund J. // Appl. Opt. 2005. V. 44. N 30. P. 6419. doi 10.1364/AO.44.006419
- Nikitin A., Baryshnikov N., Denisov D., et. al. // Proc. SPIE. 2018. V. 10539. P. 105390Z-1. doi 10.1117/12.2297078
- Барышников Н.В., Денисов Д.Г., Карасик В.Е., Сахаров А.А. // Сб. трудов IX Международной конференции молодых ученых и специалистов "Оптика --- 2015" г. Санкт-Петербург.: Университет ИТМО, 2015. С. 508
- Zygo Corporation, PTI 250 Operating Manual OMP-0490G. 2004. P. 7
- Thorlabs Linear Translation Stage. [Электронный ресурс] Режим доступа: https://www.thorlabs.com/ newgrouppage9.cfm?objectgroup\_id=5697
- Laser Components Translation Stage [Электронный ресурс] Режим доступа: https://lasercomponents.ru/catalog/ optomecanika/motorizovannye-translyacionnye-stoliki
- Neal D.R., Copland J., Neal D.A., Topa D.M., Riera P. Measurement of lens focal length using multi-curvature analysis of Shack-Hartmann wavefront data [Электронный ресурс] Режим доступа: https://citeseerx.ist.psu.edu/viewdoc/ download?doi=10.1.1.513.8016\&rep=rep1\&type=pdf
- Барышников Н.В., Животовский И.В., Карасик В.Е., Сахаров А.А. // Контенант. 2018. Т. 17. N 3. С. 129
- Radiant Zemax, Zemax User's Manual, Radiant Zemax LLC. 2012. P. 205
- Барышников Н.В., Денисов Д.Г., Животовский И.В. и др. Патент РФ N 2667323, 2009
- Bevington P.R., Robinson D.K. Data Reduction and Error Analysis for the Physical Sciences. McGraw-Hill, 1969. 336 p
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.