Методика измерения параметров вогнутых крупногабаритных асферических зеркал с помощью датчика волнового фронта
Пискунов Т.С.
1, Барышников Н.В.
1, Животовский И.В.
1, Сахаров А.А.
1, Соколовский В.А.
11Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва, Россия
Email: piskunov_t@bmstu.ru, baryshnikov@bmstu.ru
Выставление онлайн: 19 сентября 2019 г.
Разработана методика измерения радиуса Rv и эксцентриситета (параметра conic k) вогнутых крупногабаритных асферических зеркал с помощью датчика волнового фронта. Получены аналитические выражения, напрямую связывающие коэффициенты Цернике a4 и a9 с параметрами зеркала Rv, и k. Показано, что методика не требует точной юстировки зеркала перед измерениями. Проведенный компьютерный анализ показал, что разработанная схема позволяет осуществлять измерения с погрешностями delta Rv<0.1% и delta k<0.01 для зеркал с радиусами от 100 до 2000 mm, delta Rv<0.01% и delta k<0.001 для зеркал с радиусами более 5000 mm. Ключевые слова: асферическая поверхность, асферическое зеркало, метрология, датчик Шака-Гартмана, датчик волнового фронта, радиус кривизны, эксцентриситет, параметр conic, погрешности измерений, Zemax. -19
- Nikitin A., Sheldakova J., Kudryashov A. et al. // Proc. SPIE. 2016. V. 9754, Photonic Instrumentation Engineering III, 97540K. doi 10.1117/12.2219282
- Gladysheva Y.V., Zhivotovsky I.V., Denisov D.G. et al. // J. Phys. Conf. Ser. 2015. V. 584. N 1. 012020. doi 10.1088/1742-6596/584/1/012020
- Patti M., Lombini M., Magrin D. et al. // Proc. SPIE. 2018. V. 10690, Optical Design and Engineering VII, P. 106902C. doi 10.1117/12.2312067
- Breckinridge J.B. Basic Optics for the Astronomical Sciences. SPIE, 2012. 448 p
- Abdulkadyrov M.A., Ignatov A.N., Patrikeev V.E. et al. // Proc. SPIE. 2004. V. 5494, Optical Fabrication, Metrology, and Material Advancements for Telescopes. doi 10.1117/12.553006
- Zhao C., Zehnder R., Burge J.H., Martin H.M. // Proc. SPIE. 2005. V. 5869, Optical Manufacturing and Testing VI, P. 586911. doi 10.1117/12.615465
- Zhao C., Zehnder R., Burge J.H. // Optical Engineering. 2005. V. 44. N 9. 090506. (1 September 2005). doi 10.1117/1.2047594
- Yi H., Zhang R., Hu X. et al.// Optics \& Laser Technology. 2016. V. 43. N 4. P. 911-915. June 2011. doi 10.1016/j.optlastec.2010.09.014
- Yang Z., Gao Z., Yuan Q. // Optics and Lasers in Engineering. 2013. V. 56. P. 35-40. May 2014. doi 10.1016/j.optlaseng.2013.12.008
- Santiago-Alvarado A., V'azquez-Montiel S., Gonz'alez-Garc'i a J., L'opez-L'opez A. // Proc. SPIE. 2008. V. 7066, Two- and Three-Dimensional Methods for Inspection and Metrology VI, P. 70660R. doi 10.1117/12.795725
- Srivastava A.K., Sati K.C., Kumar S. // International Journal of Scientific \& Engineering Research. 2017. V. 8. N 7, July 2017
- Guy Artzner // Pure and Applied Optics: Journal of the European Optical Society Part A. 1998. V. 7. N 3. doi 10.1088/0963-9659/7/3/005
- Nikitin A., Sheldakova J., Kudryashov A. et al. // Proc. SPIE. 2015. V. 9369, Photonic Instrumentation Engineering II, P. 936905. doi 10.1117/12.2085263
- Nikitin A., Baryshnikov N., Denisov D. et al. // Proc. SPIE. 2018. V. 10539, Photonic Instrumentation Engineering V, P. 105390Z. doi 10.1117/12.2297078
- Radiant Zemax, Zemax User's Manual, Radiant Zemax LLC, 2012. p. 205
- Михельсон Н.Н. Оптика астрономических телескопов и методы ее расчета. М.: Физико-математическая литература, 1995. 333 с
- Thorlabs Linear Translation Stage [Электронный ресурс] Режим доступа: https://www.thorlabs.com/ newgrouppage9.cfm?objectgroup\_id=5697
- Kovalev M.S., Krasin G.K., Odinokov S.B., Solomashenko A.B., Zlokazov E.Yu. // Opt. Express. 2019. V. 27. P. 1563-1568. doi 10.1364/OE.27.001563
- Razgulin A.V., Kuzhamaliyev Y.Z., Goncharov A.S. et al. // Atmos. Ocean Opt. 2017. V. 30. P. 399. doi 10.1134/S1024856017040091
- Yoder P., Jr., Vukobratovich D. Opto-Mechanical Systems Design. V. 2. CRC Press, 2015. 502 p
- Piskunov T.S., Baryshnikov N.V., Zhivotovskii I.V. // Measurement Techniques. 2015. V. 58. N 3. P. 292-299. doi 10.1007/s11018-015-0702-6
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
