ФТТ, 2010, том 52, выпуск 1

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Особенности кристаллизации поликристаллических
тонких пленок PZT, сформированных
на подложке Si/SiO2/Pt

И.П.Пронин, Е.Ю.Каптелов, С.В.Сенкевич, В.А.Климов, Н.В.Зайцева,
Т.А.Шаплыгина, В.П.Пронин*, С.А.Кукушкин**

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН,
Санкт-Петербург, Россия
* Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена,
Санкт-Петербург, Россия
** Институт проблем машиноведения РАН,
Санкт-Петербург, Россия
E-mail: Petrovich@mail.ioffe.ru

(Поступила в Редакцию 1 июня 2009 г.)

Изучены особенности кристаллизации тонких пленок цирконата-титаната свинца, осажденных на подложку Si/SiO2/Pt методом ВЧ-магнетронного распыления при низкой температуре и отожженных при температуре 540-580oC. В этом интервале температур последовательно наблюдаются два фазовых перехода первого рода: низкотемпературная фаза пирохлора-фаза перовскита I и фаза перовскита I-фаза перовскита II, сопровождающихся усадкой (уменьшением объема пленки). Фазовые превращения были исследованы при помощи атомно-силовой микроскопии, сканирующей электронной микроскопии, рентгенодифракционного анализа и метода визуального (оптического) наблюдения роста островков новой фазы. Обнаружено, что диэлектрические параметры при переходе от фазы I к фазе II претерпевают существенные изменения. Обсуждаются причины наблюдаемых эффектов. Работа выполнена при поддержке РФФИ N 08-02-01352a, 07-08-00542-a, НШ-2628.2008.2, МНТЦ N 3743 и программы РАН \glqq Фундаментальные проблемы механики взаимодействия в технических и природных системах, материалах и средах\grqq.

 PDF версия (841Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2010, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster