ФТТ, 2009, том 51, выпуск 11

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Влияние отжига на электрические свойства легированных азотом монокристаллов кремния, выращенных методом
бестигельной зонной плавки

Г.И.Воронкова, А.В.Батунина, В.В.Воронков, В.Н.Головина,
А.С.Гуляева, Н.Б.Тюрина, М.Г.Мильвидский

Государственный институт редкометаллической промышленности,
Москва, Россия
E-mail: abatunina@girmet.ru

(Поступила в Редакцию 10 марта 2009 г.)

Излучены электрические свойства отожженных при 680oC легированных азотом монокристаллов кремния n- и p-типа, полученных методом бестигельной зонной плавки. Показано, что отжиг приводит к появлению в кристаллах азотсодержащих центров, образующих глубокие донорные и акцепторные уровни в запрещенной зоне. Этот процесс сопровождается увеличением удельного сопротивления, особенно существенным в исходно высокоомных монокристаллах. При этом в слаболегированных бором монокристаллах n- и p-типа наблюдается конверсия типа проводимости. В конвертированном материале n-типа подвижность электронов аномально низка, что свидетельствует о его высокой электрической пространственной неоднородности. Определено энергетическое положение вводимого при отжиге глубокого акцепторного уровня вблизи Ec-0.35 eV. Предложена модель, объясняющая наблюдаемые явления.

Работа выполнена при поддержке РФФИ (грант N 06-02-17054).

PACS: 72.80.Cw, 72.20.Fr, 81.40.Rs

 PDF версия (672Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster