ФТТ, 2008, том 50, выпуск 6

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Особенности определения механических характеристик
тонких пленок методом наноиндентирования

А.Р.Шугуров, А.В.Панин, К.В.Оскомов\kern1pt*

Институт физики прочности и материаловедения Сибирского отделения Российской академии наук,
634021 Томск, Россия
* Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук,
634021 Томск, Россия
E-mail: shugurov@ispms.tsc.ru

(Поступила в Редакцию 17 августа 2007 г.
В окончательной редакции 30 октября 2007 г.)

Исследованы твердость и модуль упругости тонких пленок Cu на подложках Si, Ti, Cu и Al. Показано, что применение метода Оливера--Фарра в сочетании с методикой определения истинной твердости позволяет однозначно определить твердость тонких пленок Cu при различных соотношениях твердости пленки и подложки. Установлено, что корректное измерение модуля упругости тонких пленок методом Оливера--Фарра возможно, лишь когда пленка и подложка обладают одинаковыми упругими свойствами. Для определения модуля упругости пленок с помощью параметра P/S2 необходимо, чтобы пленка и подложка имели близкие значения как твердости, так и модуля упругости.

Работа выполнена при финансовой поддержке Сибирского отделения Российской академии наук (проекты N 8.1.1 и 2.16).

PACS: 62.20.-x, 62.25.+g, 68.60.Bs

 PDF версия (1.3Mb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2008, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster