Вышедшие номера
Особенности определения механических характеристик тонких пленок методом наноиндентирования
Шугуров А.Р.1, Панин А.В.1, Оскомов К.В.2
1Институт физики прочности и материаловедения СО РАН, Томск, Россия
2Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
Email: shugurov@ispms.tsc.ru
Поступила в редакцию: 17 августа 2007 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2008 г.

Исследованы твердость и модуль упругости тонких пленок Cu на подложках Si, Ti, Cu и Al. Показано, что применение метода Оливера-Фарра в сочетании с методикой определения истинной твердости позволяет однозначно определить твердость тонких пленок Cu при различных соотношениях твердости пленки и подложки. Установлено, что корректное измерение модуля упругости тонких пленок методом Оливера-Фарра возможно, лишь когда пленка и подложка обладают одинаковыми упругими свойствами. Для определения модуля упругости пленок с помощью параметра P/S2 необходимо, чтобы пленка и подложка имели близкие значения как твердости, так и модуля упругости. Работа выполнена при финансовой поддержке Сибирского отделения Российской академии наук (проекты N 8.1.1 и 2.16). PACS: 62.20.-x, 62.25.+g, 68.60.Bs
  1. A.E. Giannakopoulos, S. Suresh. Scripta Mater. 40, 1191 (1999)
  2. Ю.И. Головин, А.И. Тюрин, В.В. Хлебников. ЖТФ 75, 91 (2005)
  3. T.Y. Tsui, C.A. Ross, G.M. Pharr. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 473, 51 (1997)
  4. Ю.И. Головин, В.И. Иволгин, А.И. Тюрин, В.А. Хоник. ФТТ 45, 1209 (2003)
  5. A. Gouldstone, H.-J. Koh, K.-Y. Zeng, A.E. Giannakopoulos, S. Suresh. Acta Mater. 48, 2277 (2000)
  6. Р.А. Андриевский, Г.В. Калинников, N. Hellgren, P. Sandstom, Д.В. Штанский. ФТТ 42, 1624 (2000)
  7. Д.В. Штанский, С.А. Кулинич. ФТТ 45, 1122 (2003)
  8. M.A. Phillips, B.M. Clemens, W.D. Nix. Acta Mater. 51, 3171 (2003)
  9. A.A. Volinsky, N.R. Moody, W.W. Gerberich. J. Mater. Res. 19, 2650 (2004)
  10. P. Mishra, D. Ghose. Surf. Coat. Technol. 201, 965 (2006)
  11. R. Saha, Z. Xue, Y. Huang, W.D. Nix. J. Mech. Phys. Sol. 49, 1997 (2001)
  12. W. Oliver, G. Pharr. J. Mater. Res. 7, 1564 (1992)
  13. T.Y. Tsui, C.A. Ross, G.M. Pharr. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 473, 57 (1997)
  14. R. Saha, W.D. Nix. Acta Mater. 50, 23 (2002)
  15. D.E. Kramer, A.A. Volinsky, N.R. Moody, W.W. Gerberich. J. Mater. Res. 16, 3150 (2001)
  16. B. Jonsson, S. Hogmark. Thin Solid Films 114, 257 (1984)
  17. P.J. Burnett, D.S. Rickerby. Thin Solid Films 148, 51 (1987)
  18. J.R. Tuck, A.M. Korsunsky, S.J. Bull, R.I. Davidson. Surf. Coat. Technol. 137, 217 (2001)
  19. А.В. Панин, А.Р. Шугуров, К.В. Оскомов. ФТТ 47, 1973 (2005)
  20. D.L. Joslin, W.C. Oliver. J. Mater. Res. 5, 123 (1990)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.