Издателям
Вышедшие номера
Особенности определения механических характеристик тонких пленок методом наноиндентирования
Шугуров А.Р.1, Панин А.В.1, Оскомов К.В.2
1Институт физики прочности и материаловедения Сибирского отделения Российской академии наук, Томск, Россия
2Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук, Томск, Россия
Email: shugurov@ispms.tsc.ru
Поступила в редакцию: 17 августа 2007 г.
Выставление онлайн: 21 мая 2008 г.

Исследованы твердость и модуль упругости тонких пленок Cu на подложках Si, Ti, Cu и Al. Показано, что применение метода Оливера--Фарра в сочетании с методикой определения истинной твердости позволяет однозначно определить твердость тонких пленок Cu при различных соотношениях твердости пленки и подложки. Установлено, что корректное измерение модуля упругости тонких пленок методом Оливера--Фарра возможно, лишь когда пленка и подложка обладают одинаковыми упругими свойствами. Для определения модуля упругости пленок с помощью параметра P/S2 необходимо, чтобы пленка и подложка имели близкие значения как твердости, так и модуля упругости. Работа выполнена при финансовой поддержке Сибирского отделения Российской академии наук (проекты N 8.1.1 и 2.16). PACS: 62.20.-x, 62.25.+g, 68.60.Bs
  • A.E. Giannakopoulos, S. Suresh. Scripta Mater. 40, 1191 (1999)
  • Ю.И. Головин, А.И. Тюрин, В.В. Хлебников. ЖТФ 75, 91 (2005)
  • T.Y. Tsui, C.A. Ross, G.M. Pharr. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 473, 51 (1997)
  • Ю.И. Головин, В.И. Иволгин, А.И. Тюрин, В.А. Хоник. ФТТ 45, 1209 (2003)
  • A. Gouldstone, H.-J. Koh, K.-Y. Zeng, A.E. Giannakopoulos, S. Suresh. Acta Mater. 48, 2277 (2000)
  • Р.А. Андриевский, Г.В. Калинников, N. Hellgren, P. Sandstom, Д.В. Штанский. ФТТ 42, 1624 (2000)
  • Д.В. Штанский, С.А. Кулинич. ФТТ 45, 1122 (2003)
  • M.A. Phillips, B.M. Clemens, W.D. Nix. Acta Mater. 51, 3171 (2003)
  • A.A. Volinsky, N.R. Moody, W.W. Gerberich. J. Mater. Res. 19, 2650 (2004)
  • P. Mishra, D. Ghose. Surf. Coat. Technol. 201, 965 (2006)
  • R. Saha, Z. Xue, Y. Huang, W.D. Nix. J. Mech. Phys. Sol. 49, 1997 (2001)
  • W. Oliver, G. Pharr. J. Mater. Res. 7, 1564 (1992)
  • T.Y. Tsui, C.A. Ross, G.M. Pharr. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 473, 57 (1997)
  • R. Saha, W.D. Nix. Acta Mater. 50, 23 (2002)
  • D.E. Kramer, A.A. Volinsky, N.R. Moody, W.W. Gerberich. J. Mater. Res. 16, 3150 (2001)
  • B. Jonsson, S. Hogmark. Thin Solid Films 114, 257 (1984)
  • P.J. Burnett, D.S. Rickerby. Thin Solid Films 148, 51 (1987)
  • J.R. Tuck, A.M. Korsunsky, S.J. Bull, R.I. Davidson. Surf. Coat. Technol. 137, 217 (2001)
  • А.В. Панин, А.Р. Шугуров, К.В. Оскомов. ФТТ 47, 1973 (2005)
  • D.L. Joslin, W.C. Oliver. J. Mater. Res. 5, 123 (1990)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.