ФТТ, 2005, том 47, выпуск 3

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Зависимость коэффициента конденсации висмута от энергии частиц, осаждаемых из ионного пучка на кремниевые подложки

В.Е.Пуха, И.Ф.Михайлов, А.Н.Дроздов, Л.П.Фомина

Национальный технический университет \glqq Харьковский политехнический институт\grqq,
61002 Харьков, Украина
E-mail: puch@kpi.kharkov.ua

(Поступила в Редакцию 1 апреля 2004 г.
В окончательной редакции 1 июля 2004 г.)

Экспериментально изучена зависимость коэффициента конденсации висмута от энергии частиц, осаждаемых из ионного пучка на кремниевые подложки. Обнаружены резкое увеличение коэффициента конденсации при подаче ускоряющего потенциала на подложку в диапазоне от 0 до 10 V и монотонное его снижение при величине потенциала свыше 60 V. Критическая температура конденсации при осаждении из ионного пучка на 100 градусов выше, чем из потока пара.

Работа выполнена в рамках бюджетной научно-исследовательской программы Украины по теме М5462 \glqq Фуллереновые композиции, формирующиеся из потоков частиц компонентов повышенной энергии\grqq.

 PDF версия (121Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2005, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster