Издателям
Вышедшие номера
Зависимость коэффициента конденсации висмута от энергии частиц, осаждаемых из ионного пучка на кремниевые подложки
Пуха В.Е.1, Михайлов И.Ф.1, Дроздов А.Н.1, Фомина Л.П.1
1Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт", Харьков, Украина
Email: puch@kpi.kharkov.ua
Поступила в редакцию: 1 апреля 2004 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2005 г.

Экспериментально изучена зависимость коэффициента конденсации висмута от энергии частиц, осаждаемых из ионного пучка на кремниевые подложки. Обнаружены резкое увеличение коэффициента конденсации при подаче ускоряющего потенциала на подложку в диапазоне от 0 до 10 V и монотонное его снижение при величине потенциала свыше 60 V. Критическая температура конденсации при осаждении из ионного пучка на 100 градусов выше, чем из потока пара. Работа выполнена в рамках бюджетной научно-исследовательской программы Украины по теме М5462 "Фуллереновые композиции, формирующиеся из потоков частиц компонентов повышенной энергии".
  • K. Sakamoto, K. Kyoya, K. Miki, Matsuhata. Jpn. J. Appl. Phys. 32, 2A, L204 (1993)
  • С.Ю. Булавенко. Канд. дис. КНУ, Киев (2002)
  • М.Д. Габович, Н.В. Плешивцев, Н.Н. Семашко. Пучки ионов и атомов для управляемого термоядерного синтеза и технологических целей. Энергоатомиздат, М. (1986). С. 117
  • Н.И. Ионов. ЖТФ 34, 769 (1964)
  • Г.А. Месяц, С.А. Баренгольц. УФН 172, 10, 1113 (2002)
  • Г.В. Самсонов. Физико-химические свойства окислов. Металлургия, М. (1978). 456 с
  • И.Т. Гороновский, Ю.П. Назаренко, Е.Ф. Некряч. Краткий справочник по химии. Наукова думка, Киев (1965). 836 с
  • С.И. Исаев. Курс химической термодинамики. Машиностроение. М. (1975). 256 с
  • Физическое распыление одноэлементных твердых тел / Под ред. Р. Бериша. Мир, М. (1984). С. 253
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.