ФТТ, 2003, том 45, выпуск 10

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Исследование особенностей образования микродефектов в термически обработанных бездислокационных пластинах кремния большого диаметра методом диффузного рассеяния
рентгеновских лучей

В.Т.Бублик, С.Ю.Мацнев, К.Д.Щербачев, М.В.Меженный *, М.Г.Мильвидский **, В.Я.Резник **

Московский институт стали и сплавов (технический университет),
117936 Москва, Россия
* Научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности \glqq Гиредмет\grqq,
109017 Москва, Россия
** Институт химических проблем микроэлектроники,
109017 Москва, Россия
E-mail: icpm@mail.girmet.ru

(Поступила в Редакцию 11 марта 2003 г.)

С помощью метода диффузного рассеяния рентгеновских лучей (ДРРЛ) изучены особенности образования микродефектов (МД) в термически обработанных бездислокационных пластинах кремния большого диаметра вакансионного типа. Показано, что измерение ДРРЛ является эффективным методом исследования МД в монокристаллах кремния. Установлено, что в процессе низкотемпературной термообработки при 450oC в пластинах формируются характерные дефекты типа \glqq примесных облаков\grqq, представляющие собой области, обогащенные кислородом в пределах твердого раствора с размытой когерентной границей. На последующих стадиях распада пересыщенного твердого раствора внутри этих областей образуются оксидные преципитаты, а сами эти области исчезают. В результате распада пересыщенного твердого раствора кислорода в процессе многоступенчатой термообработки в пластинах кремния формируются МД межузельного типа, залегающие в плоскостях типа {110} и обладающие несферическими полями смещений. Определены объемная плотность и размеры МД, образующихся в пластинах на разных стадиях распада.

Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант N 02-02-16053).

 PDF версия (452Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2003, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster