С помощью метода диффузного рассеяния рентгеновских лучей (ДРРЛ) изучены особенности образования микродефектов (МД) в термически обработанных бездислокационных пластинах кремния большого диаметра вакансионного типа. Показано, что измерение ДРРЛ является эффективным методом исследования МД в монокристаллах кремния. Установлено, что в процессе низкотемпературной термообработки при 450^oC в пластинах формируются характерные дефекты типа "примесных облаков", представляющие собой области, обогащенные кислородом в пределах твердого раствора с размытой когерентной границей. На последующих стадиях распада пересыщенного твердого раствора внутри этих областей образуются оксидные преципитаты, а сами эти области исчезают. В результате распада пересыщенного твердого раствора кислорода в процессе многоступенчатой термообработки в пластинах кремния формируются МД межузельного типа, залегающие в плоскостях типа 110 и обладающие несферическими полями смещений. Определены объемная плотность и размеры МД, образующихся в пластинах на разных стадиях распада. Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант N 02-02-16053).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.