Вышедшие номера
Исследование особенностей образования микродефектов в термически обработанных бездислокационных пластинах кремния большого диаметра методом диффузного рассеяния рентгеновских лучей
Бублик В.Т.1, Мацнев С.Ю.1, Щербачёв К.Д.1, Меженный М.В.2, Мильвидский М.Г.3, Резник В.Я.3
1Московский институт стали и сплавов (технический университет), Москва, Россия
2Научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет", Москва, Россия
3Институт химических проблем микроэлектроники, Москва, Россия
Email: icpm@mail.girmet.ru
Поступила в редакцию: 11 марта 2003 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2003 г.

С помощью метода диффузного рассеяния рентгеновских лучей (ДРРЛ) изучены особенности образования микродефектов (МД) в термически обработанных бездислокационных пластинах кремния большого диаметра вакансионного типа. Показано, что измерение ДРРЛ является эффективным методом исследования МД в монокристаллах кремния. Установлено, что в процессе низкотемпературной термообработки при 450oC в пластинах формируются характерные дефекты типа "примесных облаков", представляющие собой области, обогащенные кислородом в пределах твердого раствора с размытой когерентной границей. На последующих стадиях распада пересыщенного твердого раствора внутри этих областей образуются оксидные преципитаты, а сами эти области исчезают. В результате распада пересыщенного твердого раствора кислорода в процессе многоступенчатой термообработки в пластинах кремния формируются МД межузельного типа, залегающие в плоскостях типа 110 и обладающие несферическими полями смещений. Определены объемная плотность и размеры МД, образующихся в пластинах на разных стадиях распада. Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант N 02-02-16053).