ФТТ, 2003, том 45, выпуск 5

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Механизм первичной самоорганизации регулярной структуры пористого кремния

М.Е.Компан

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия
E-mail: kompan@solid.ioffe.rssi.ru

(Поступила в Редакцию 1 июля 2002 г.)

Предложен механизм самоформирования регулярной системы пор в пористом кремнии. В соответствии с предложенным механизмом процесс самоформирования основан на общих законах кинетики системы носителей заряда. На основе предложенного механизма сделана оценка для среднего расстояния между порами пористого кремния, получаемого из кремния p-типа, и для плотности тока анодизации, необходимого для получения пористого кремния при анодном травлении. Полученные величины находятся в хорошем согласии с величинами, известными из эксперимента. Предсказана зависимость среднего расстояния между порами от концентрации носителей в исходном кремнии, близкая к L(n)~ n-1/2. Действенность предложенного механизма подтверждена результатами компьютерного моделирования.

 PDF версия (90Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2003, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster