Издателям
Вышедшие номера
Механизм первичной самоорганизации регулярной структуры пористого кремния
Компан М.Е.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: kompan@solid.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 1 июля 2002 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2003 г.

Предложен механизм самоформирования регулярной системы пор в пористом кремнии. В соответствии с предложенным механизмом процесс самоформирования основан на общих законах кинетики системы носителей заряда. На основе предложенного механизма сделана оценка для среднего расстояния между порами пористого кремния, получаемого из кремния p-типа, и для плотности тока анодизации, необходимого для получения пористого кремния при анодном травлении. Полученные величины находятся в хорошем согласии с величинами, известными из эксперимента. Предсказана зависимость среднего расстояния между порами от концентрации носителей в исходном кремнии, близкая к L(n)~ n-1/2. Действенность предложенного механизма подтверждена результатами компьютерного моделирования.
  1. K. Suenaga, Y. Zang, S. Iijima. Appl. Phys. Lett. 76, 1564 (2000)
  2. M.S. Gudiksen et al. Nature 415, 617 (2002)
  3. L.T. Canham. Appl. Phys. Lett 57, 1046 (1990)
  4. Collection of Papers from First International Conference on Porous Semiconductors. Journal of Porous Materials 7, 1 / 2 / 3 (2000)
  5. D.R. Terner. J. Electrochem. Soc. 105, 402 (1958)
  6. K.M.A. El-Kader, J. Ocwald, J. Kocka, V. Chab. Appl. Phys. Lett. 64, 2555 (1994)
  7. M.I.J. Beale, J.D. Benjamin, M.J. Uren, N.G. Chew, A.G. Cullis. J. of Crystall Growth 72, 622 (1985)
  8. М.Е. Компан, И.Ю. Шабанов. ФТТ 36, 125 (1994)
  9. М.Е. Компан, И.Ю. Шабанов. ФТП 29, 1859 (1995)
  10. A. Valance. Phys. Rev. B 52, 8323 (1995)
  11. D.N. Gorjachev, L.V. Beljakov, O.M. Sreseli. Semiconductors 34, 1090 (2000)
  12. T. Unagami, M. Seki. J. Electrochemical Soc. 125, 1339 (1978)
  13. R.L. Smith, S.D. Collins. J. Appl. Phys. 71, R1 (1992)
  14. P. Allongue, V. Costa-Keilling, H. Gerischer. J. Electrochemical Soc. 140, 1009 (1993)
  15. M.E. Kompan, I.Yu. Senichenkov, I.Yu. Shabanov, J. Salonen. http : // zhurnal.are.relarn.ru / articles / 1999 / 001.pdf
  16. Л.Д. Ландау, Е.М. Лившиц. Теория поля. Наука, М. (1967). 460 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.