Издателям
Вышедшие номера
Механизм первичной самоорганизации регулярной структуры пористого кремния
Компан М.Е.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: kompan@solid.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 1 июля 2002 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2003 г.

Предложен механизм самоформирования регулярной системы пор в пористом кремнии. В соответствии с предложенным механизмом процесс самоформирования основан на общих законах кинетики системы носителей заряда. На основе предложенного механизма сделана оценка для среднего расстояния между порами пористого кремния, получаемого из кремния p-типа, и для плотности тока анодизации, необходимого для получения пористого кремния при анодном травлении. Полученные величины находятся в хорошем согласии с величинами, известными из эксперимента. Предсказана зависимость среднего расстояния между порами от концентрации носителей в исходном кремнии, близкая к L(n)~ n-1/2. Действенность предложенного механизма подтверждена результатами компьютерного моделирования.
  • K. Suenaga, Y. Zang, S. Iijima. Appl. Phys. Lett. 76, 1564 (2000)
  • M.S. Gudiksen et al. Nature 415, 617 (2002)
  • L.T. Canham. Appl. Phys. Lett 57, 1046 (1990)
  • Collection of Papers from First International Conference on Porous Semiconductors. Journal of Porous Materials 7, 1 / 2 / 3 (2000)
  • D.R. Terner. J. Electrochem. Soc. 105, 402 (1958)
  • K.M.A. El-Kader, J. Ocwald, J. Kocka, V. Chab. Appl. Phys. Lett. 64, 2555 (1994)
  • M.I.J. Beale, J.D. Benjamin, M.J. Uren, N.G. Chew, A.G. Cullis. J. of Crystall Growth 72, 622 (1985)
  • М.Е. Компан, И.Ю. Шабанов. ФТТ 36, 125 (1994)
  • М.Е. Компан, И.Ю. Шабанов. ФТП 29, 1859 (1995)
  • A. Valance. Phys. Rev. B 52, 8323 (1995)
  • D.N. Gorjachev, L.V. Beljakov, O.M. Sreseli. Semiconductors 34, 1090 (2000)
  • T. Unagami, M. Seki. J. Electrochemical Soc. 125, 1339 (1978)
  • R.L. Smith, S.D. Collins. J. Appl. Phys. 71, R1 (1992)
  • P. Allongue, V. Costa-Keilling, H. Gerischer. J. Electrochemical Soc. 140, 1009 (1993)
  • M.E. Kompan, I.Yu. Senichenkov, I.Yu. Shabanov, J. Salonen. http : // zhurnal.are.relarn.ru / articles / 1999 / 001.pdf
  • Л.Д. Ландау, Е.М. Лившиц. Теория поля. Наука, М. (1967). 460 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.