Исследованы структура и физические свойства тонких пленок NiO, полученных методом реактивного высокочастотного магнетронного распыления никелевой мишени в атмосфере Ar + O₂ при температуре подложки 400^oC. Показано, что введение кислорода в камеру приводит к формированию нанокристаллической кубической фазы NiO, а увеличение содержания O₂ от 6 до 50% влияет на текстуру, электрическое сопротивление и энергию активации проводимости пленок. Температурные зависимости электрического сопротивления имеют полупроводниковый характер и описываются термоактивационным механизмом с энергией активации от 0.24±0.01 до 0.31±0.01 eV для образцов, полученных при различных концентрациях кислорода. В двухслойных структурах NiO с различным содержанием кислорода в слоях возникает термовольтаический эффект при однородном нагреве. Установлено, что максимальное напряжение термовольтаического эффекта реализуется для структуры NiO (6% O₂)|NiO (10% O₂) и NiO (40% O₂)|NiO (50% O₂). На основе наиболее эффективных градиентных оксидных структур n- и p-типа сформирован макет тонкопленочного термовольтаического генератора ZnO : Fe(x_Fe=2.18%)/ZnO : Fe(x_Fe=0.55%)/NiO (полученный при 50% O₂)/NiO (полученный при 40% O₂), для которого в области 350-355^oC напряжение сохраняется на уровне 210 μV в течение 8 h выдержки. Ключевые слова: термовольтаический эффект, оксид цинка, тонкие пленки, градиент концентрации носителей.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.