Влияние избыточного потока водорода в реакторе на PECVD рост углеродных нанотрубок
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, FFFG-2025-0002
Булярский С.В.1, Молоденский М.С.1, Львов П.Е.1, Павлов А.А.1, Ануфриев Ю.В.1, Шаман Ю.П.1, Гусаров Г.Г.1, Модестов К.А.1, Сыса А.В.1, Шевченко А.Р.1
1Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, Москва, Россия
Email: bulyar2954@mail.ru, molodenskiy@mail.ru, lvovpe@sv.uven.ru, alexander.a.pavlov@gmail.com, anufriev.u@inme-ras.ru, shaman.yu.p@yandex.ru, geog1@mail.ru, k.modestov57@yandex.ru, sysa.artem@yandex.ru, starosta5050@gmail.com
Поступила в редакцию: 10 января 2025 г.
В окончательной редакции: 10 января 2025 г.
Принята к печати: 11 января 2025 г.
Выставление онлайн: 22 марта 2025 г.
Изучено влияние величины потока водорода на парофазный синтез углеродных нанотрубок в плазме газового разряда. Установлено, что увеличение потока водорода в реакторе снижает температуру плазмы и увеличивает количество дефектов в синтезированных нанотрубках. Анализ термодинамики синтеза показывает, что увеличение концентрации водорода снижает активность катализатора и уменьшает количество углерода, поступающего к растущей нанотрубке, что и приводит к увеличению ее дефектности. Ключевые слова: углеродные нанотрубки, синтез, дефекты.
- S. Morais. Nanomaterials (Basel, Switzerland) 13, 19 (2023). https://doi.org/10.3390/nano13192674
- F.U. Siddiqui, S. Rathore. Int. J. Mech. Eng. Technol. 14, 5, 1 (2023)
- S.V. Bulyarskiy, A.A. Dudin, A.V. Lakalin, A.P. Orlov, A.A. Pavlov, R.M. Ryazanov, A.A. Shamanaev. Tech. Phys. 63, 6, 894 (2018). https://doi.org/10.1134/S1063784218060099
- K.L. Jensen, D.A. Shiffler, J.R. Harris, I.M. Rittersdorf, J.J. Petillo. J. Vac. Sci. Technol. B 35, 2 (2017). https://doi.org/10.1116/1.4968007
- M. Mauger, V.T. Binh. J. Vac. Sci. Technol. B 24, 2, 997 (2006). https://doi.org/10.1116/1.2179454
- D. Li, L. Tong. Processes 9, 1, 36 (2021). https://doi.org/10.3390/pr9010036
- S.-I. Jo, B.-J. Lee, G.-H. Jeong. J. Korean Phys. Soc. 76, 12, 1110 (2020). https://doi.org/10.3938/jkps.76.1110
- P. Ji, J. Chen, T. Huang, L. Zhuge, X. Wu. Diam. Relat. Mater. 109, 108067 (2020). https://doi.org/10.1016/j.diamond.2020.108067
- D. Mariotti, Y. Shimizu, T. Sasaki, N. Koshizaki. J. Appl. Phys. 101, 1 (2007). https://doi.org/10.1063/1.2409318
- P. Melnikov, V.A. Nascimento, I.V. Arkhangelsky, L.Z. Zanoni Consolo, L.C.S. de Oliveira. J. Therm. Anal. Calorim. 115, 1, 145 (2014). https://doi.org/10.1007/s10973-013-3339-1
- В.И. Горбунков, В.В. Косицын, В.И. Рубан, В.В. Шалай. Омский научный вестник. Серия: Авиационно-ракетное и энергетическое машиностроение 2, 3, 44 (2018). https://doi.org/10.25206/2588-0373-2018-2-3-44-50
- A. Thapa, Y.R. Poudel, R. Guo, K.L. Jungjohann, X. Wang, W. Li. Carbon 171, 188 (2021). https://doi.org/10.1016/j.carbon.2020.08.081
- S.V. Bulyarskii, V.P. Oleinikov. Physica Status Solidi B 146, 2, 439 (1988). https://doi.org/10.1002/pssb.2221460204
- С.В. Булярский, В.В. Фистуль. Термодинамика и кинетика взаимодействующих дефектов в полупроводниках. Физматлит, Москва (1997). 351 c
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
