Оптимизация металл-индуцированной лазер-стимулированной кристаллизации пленок кремния на гибкой подложке путем варьирования толщины слоя алюминия
Российский научный фонд, 23-22-00047
Волковойнова Л.Д.
1, Сердобинцев А.А.
11Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия
Email: loris.volkoff@gmail.com, SerdobintsevAA@sgu.ru
Поступила в редакцию: 16 мая 2023 г.
В окончательной редакции: 5 сентября 2023 г.
Принята к печати: 30 октября 2023 г.
Выставление онлайн: 6 декабря 2023 г.
Изучается влияние толщины слоя алюминия на степень кристаллизации кремния после облучения тонкопленочной структуры Al/Si на гибкой полиимидной подложке импульсным инфракрасным лазерным излучением. Ключевые слова: кристаллизация аморфного кремния, металл-индуцированная кристаллизация, лазер-стимулированная кристаллизация, инфракрасное лазерное излучение, гибкая электроника.
- N. Vouroutzis, J. Stoemenos, N. Frangis, G.Z. Radnoczi, D. Knez, F. Hofer, B. Pecz. Sci. Rep. 9, 2844 (2019). DOI: 10.1038/s41598-019-39503-9
- Y. Khan, A. Thielens, S. Muin, J. Ting, C. Baumbauer, A.C. Arias. Adv. Mater. 32, 1905279 (2020). DOI: 10.1002/adma.201905279
- M.J.M. Hosseini, R.A. Nawrocki. Micromachines 12, 6, 655 (2021). DOI: 10.3390/mi12060655
- A.A. Serdobintsev, V.A. Luzanov, I.O. Kozhevnikov, P.V. Ryabukho, D.M. Mitin, D.N. Bratashov, A.V. Starodubov, A.M. Pavlov. J. Phys. Conf. Ser. 1400, 055034 (2019). DOI 10.1088/1742-6596/1400/5/055034
- A.O. Zamchiy; E.A. Baranov. Coatings 12, 1926, (2022). DOI: 10.3390/coatings12121926
- Metal-Induced Crystallization / Eds Z. Wang, L.P.H. Jeurgens, E.J. Mittemeijer. Jenny Stanford Publishing, N. Y. (2015). 320 p
- J. Zi, H. Buscher, C. Falter, W. Ludwig, K. Zhang. Appl. Phys. Lett. 69, 200 (1996). DOI: 10.1063/1.117371
- K. Shrestha, D. Whitfield, V.C. Lopes, A.J. Syllaios, C.L. Littler. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1757, 962 (2014). DOI: 10.1557/opl.2014.962
- K. Toko, T. Suemasu. J. Phys. D 53, 373002 (2020). DOI 10.1088/1361-6463/ab91ec
- A.A. Serdobintsev, I.O. Kozhevnikov, A.V. Starodubov, P.V. Ryabukho, V.V. Galushka, A.M. Pavlov. Phys. Status Solidi A 216, 11, 1800964 (2019). DOI: 10.1002/pssa.201800964
- L.D. Volkovoynova, I.O. Kozhevnikov, A.M. Pavlov, A.A. Serdobintsev, A.V. Starodubov. In: Proceedings of 8th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE--2022) / Eds D. Sorokin, A. Grishkov. TPU Publishing House, Tomsk (2022). 916 p. DOI: 10.56761/EFRE2022.C3-P-005701
- P. Lengsfeld, N.H. Nickel, C. Genzel, W. Fuhs. J. Appl. Phys. 91, 9128 (2002). DOI: 10.1063/1.1476083
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
