Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Влияние материала верхнего электрода на электрофизические свойства МДМ-структур на основе сегнетоэлектрических пленок

Переводная версия: 10.21883/PSS.2023.06.56117.73

Афанасьев М.С.¹, Белорусов Д.А.¹, Киселев Д.А.¹, Чучева Г.В.¹

¹Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Фрязино, Россия Fryazino Branch, Kotel’nikov Institute of Radio Engineering and Electronics, Russian Academy of Sciences, Fryazino, Moscow oblast, Russia

Fryazino Branch, Kotel’nikov Institute of Radio Engineering and Electronics, Russian Academy of Sciences, Fryazino, Moscow oblast, Russia

Email: gvc@ms.ir.rssi.ru

Поступила в редакцию: 28 апреля 2023 г.

В окончательной редакции: 28 апреля 2023 г.

Принята к печати: 4 мая 2023 г.

Выставление онлайн: 31 мая 2023 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Сегнетоэлектрические пленки состава Ba_0.8Sr_0.2TiO₃ (BST) синтезированы на платинированные кремниевые подложки методом ВЧ-распыления. На выращенные пленки методом электронно-лучевого распыления сформированы верхние электроды из никеля, алюминия, меди и хрома. Представлены результаты исследований электрофизических свойств полученных гетероструктур металл-диэлектрик-металл (МДМ) (Ме-BST-Pt-Si). Ключевые слова: сегнетоэлектрические пленки BST, структуры металл-диэлектрик-металл (МДМ), микроструктура, электрофизические свойства.

Д.А. Абдуллаев, Р.А. Милованов, Р.Л. Волков, Н.И. Боргардт, А.Н. Ланцев, К.А. Воротилов, А.С. Сигов. Russ. Technol. J. 8, 5, 44 (2020)
К.А. Воротилов, В.М. Мухортов, А.С. Сигов. Интегрированные сегнетоэлектрические устройства. Энергоатомиздат, М. (2011). 175 с
К.М. Рабе, Ч. Г. Ан, Ж.-М. Трискон. Физика сегнетоэлектриков: современный взгляд. Лаборатория знаний, Город (2020). 443 с
В. М. Мухортов, Ю. И. Юзюк. Гетероструктуры на основе наноразмерных сегнетоэлектрических пленок: получение, свойства и применение. ЮНЦ РАН, Ростов н/ Д. (2008). 221 с
A. Gannepalli, D.G. Yablon, A.H. Tsou, R. Proksch. Nanotechnology 24, 159501 (2013)
J. Bian, P. Xue, R. Zhu, L. Wang, B. Yang, T. Li, Q. Hu, L. Shen, J. Wang, G. Lu, Y. Yang. Appl. Mater. Today 21, 100789 (2020)
Е.И. Гольдман, А.Г. Ждан, Г.В. Чучева. ПТЭ 6, 110 (1997)
М.С. Афанасьев, Д.А. Киселев, С.А. Левашов, А.А. Сивов, Г.В. Чучева. ФТТ 61, 10, 1948 (2019)
R.C. Munoz, G. Vidal, M. Mulsow, J.G. Lisoni, C. Arenas, A. Concha, R. Esparza. Phys. Rev. B 62, 7, 4686 (2000)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель