Методом инструментального нейтронно-активационного анализа исследована растворимость в монокристаллическом кремнии примеси кобальта, легированного путем термодиффузии. Показано, что в n-Si в интервале температур диффузии 1000-1250^oС общая растворимость примеси ⁶⁰Со изменяется в пределах концентрации 2.8·10¹⁴-9·10¹⁵ cm^-3, а электрически активная концентрация увеличивается от 10¹³ до 3·10¹⁴ cm^-3. Для уменьшения погрешности при определении концентрации ⁶⁰Со в легированных образцах Si, предложено использовать материнский стабильной изотоп, а не дочерний радионуклид кобальта в качестве лигатуры. Ключевые слова: монокристаллический кремний, примесь кобальта, диффузия, нейтронно-активационный анализ, растворимость, облучение, радионуклид, концентрация.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.