Эффект интерфейсного легирования системы наностержней оксида цинка
		
	
	
	
Рябко А.А.
 1
1, Мазинг Д.С.
 2
2, Бобков А.А.
 2
2, Максимов А.И.
 2
2, Левицкий В.С.
 1
1, Лазнева Э.Ф.
3, Комолов А.С.
3, Мошников В.А.
 2
2, Теруков Е.И.
 1
11Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
 2
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия 
 3
3Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия 

 Email: a.a.ryabko93@yandex.ru, dmazing@yandex.ru, darklord125@mail.ru, aimaximov@mail.ru, lev-vladimir@yandex.ru, akomolov07@yandex.ru, vamoshnikov@mail.ru
 
	Поступила в редакцию: 16 июня 2022 г.
		
	В окончательной редакции: 16 июня 2022 г.
		
	Принята к печати: 18 июня 2022 г.
		
	Выставление онлайн: 23 августа 2022 г.
		
		
 Обнаружен эффект возрастания электропроводности системы наностержней оксида цинка ZnO в 105 раз при атомно-слоевом осаждении тонкого диэлектрического слоя оксида алюминия Al2O3. Показано, что изменение электропроводности ZnO при атомно-слоевом осаждении Al2O3 на поверхность наблюдается также в случае ZnO в виде тонких поликристаллических слоев. Представлено исследование поликристаллических слоев ZnO с покрытием из Al2O3 с помощью ультрафиолетовой и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. На основе результатов фотоэлектронной спектроскопии предложены два основных фактора изменения электропроводности, заключающиеся в образовании двумерного электронного газа на интерфейсе ZnO|Al2O3 и легировании приповерхностной области ZnO атомами алюминия. Ключевые слова: наностержни, оксид цинка, оксид алюминия, атомно-слоевое осаждение, прозрачные электроды, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, ультрафиолетовая фотоэлектронная спектроскопия. 
- U. Ozgur, Y.I. Alivov, C. Liu, A. Teke, M.A. Reshchikov, S. Dogan, V. Avrutin, S.J. Cho, H.A. Morkoc. J. Appl. Phys. 98, 4, 041301 (2005)
- P.R. Brown, R.R. Lunt, N. Zhao, T.P. Osedach, D.D. Wanger, L.-Y. Chang, M.G. Bawendi, V. Bulovic. Nano Lett. 11, 7, 2955 (2011)
- A. Takahashi, H. Wang, T. Fukuda, N. Kamata, T. Kubo, H. Segawa. Energies 13, 19, 5037 (2020)
- D.S. Ahmed, B.K. Mohammed, M.K.A. Mohammed. J. Mater Sci 56, 27, 15205 (2021)
- L.-M. Wang, C.-Y. Wang, C.-R. Jheng, S.-J. Wu, C.-K. Sai, Y.-J. Lee, C.-Y. Chiang, B.-Y. Shew. Appl. Phys. A 122, 8, 731 (2016)
- L.M. Wong, S.Y. Chiam, W.K. Chim, J.S. Pan, S.J. Wang. Thin Solid Films 545, 285 (2013)
- D.C. Look, K.D. Leedy, L. Vines, B.G. Svensson, A. Zubiaga, F. Tuomisto, D.R. Doutt, L.J. Brillson. Phys. Rev. B 84, 11, 115202 (2011)
- Y. Wu, P.M. Hermkens, B.W.H. van de Loo, H.C.M. Knoops, S.E. Potts, M.A. Verheijen, F. Roozeboom, W.M.M. Kessels. J. Appl. Phys. 114, 2, 024308 (2013)
- Y.-J. Lu, H.-F. Li, C.-X. Shan, B.-H. Li, D.-Z. Shen, L.-G. Zhang, S.-F. Yu. Opt. Express 22, 14, 7524 (2014)
- A. Rasool, M.C.S. Kumar, M.H. Mamat, C. Gopalakrishnan, R. Amiruddin. J. Mater. Sci.: Mater. Electron. 31, 9, 7100 (2020)
- M. Ding, D. Zhao, B. Yao, S.E.Z. Guo, L. Zhang, D. Shen. Opt. Express 20, 13, 13657 (2012)
- M. Willander, M.Q. Israr, J.R. Sadaf, O. Nur. Nanophotonics 1, 1, 99 (2012)
- V. Consonni, J. Briscoe, E. Karber, X. Li, T. Cossuet. Nanotechnol. 30, 36, 362001 (2019)
- J. Al-Sabahi, T. Bora, M. Al-Abri, J. Dutta. Materials 9, 4, 238 (2016)
- S. Xu, Y. Qin, C. Xu, Y. Wei, R. Yang, Z.L. Wang. Nature Nanotechnol. 5, 5, 366 (2010)
- Л.К. Крастева, Д.Ц. Димитров, К.И. Папазова, Н.К. Николаев, Т.В. Пешкова, В.А. Мошников, И.Е. Грачева, С.С. Карпова, Н.В. Канева. ФТП 47, 4, 564 (2013)
- A. Bobkov, A. Varezhnikov, I. Plugin, F.S. Fedorov, V. Trouillet, U. Geckle, M. Sommer, V. Goffman, V. Moshnikov, V. Sysoev. Sensors 19, 19, 4265 (2019)
- А.А. Рябко, А.А. Бобков, С.С. Налимова, А.И. Максимов, В.С. Левицкий, В.А. Мошников, Е.И. Теруков. ЖТФ 92, 5, 758 (2022)
- А.А. Рябко, С.С. Налимова, Д.С. Мазинг, О.А. Корепанов, А.М. Гукетлов, О.А. Александрова, А.И. Максимов, В.А. Мошников, З.В. Шомахов, А.Н. Алешин. ЖТФ 92, 6, 845 (2022)
- А.Б. Никольская, С.С. Козлов, М.Ф. Вильданова, О.И. Шевалеевский. ФТП 53, 4, 550 (2019)
- S. Zang, Y. Wang, W. Su, H. Zhu, G. Li, X. Zhang, Y.  Liu. Phys. Status Solidi RRL 10, 10, 745 (2016)
- S. Ozu, Y. Zhang, H. Yasuda, Y. Kitabatake, T. Toyoda, M. Hirata, K. Yoshino, K. Katayama, S. Hayase, R. Wang, Q. Shen. Frontiers. Energy Res. 7, 11 (2019)
- B. Wei, Z. Tang, S. Wang, C. Qing, C. Li, X. Ding, Y. Gao, X. Portier, F. Gourbilleau, D. Stievenard, T. Xu. Nanotechnol. 29, 39, 395204 (2018)
- S. Zang, Y. Wang, M. Li, W. Su, M. An, X. Zhang, Y. Liu. Chin. Phys. B 2, 1, 018503 (2018)
- K.R. Nandanapalli, D. Mudusu. ACS Appl. Nano Mater. 1, 8, 4083 (2018)
- K. Gawlinska-Necek, M. Wlazlo, R. Socha, I. Stefaniuk, L. Major, P. Panek. Materials 14, 4, 1038 (2021)
- H.-Y. Chen, H.-L. Lu, L. Sun, Q.-H. Ren, H. Zhang, X.-M. Ji, W.-J. Liu, S.-J. Ding, X.-F. Yang, D.W. Zhang. Sci. Rep. 6, 38486 (2016)
- D. Garcia-Alonso, S. Smit, S. Bordihn, W.M.M. Kessels. Semicond. Sci. Technol. 28, 8, 082002 (2013)
- B. Min, J.S. Lee, J.W. Hwang, K.H. Keem, M.I. Kang, K. Cho, M.Y. Sung, S. Kim, M.-S. Lee, S.O. Park, J.T. Moon. J. Crystal Growth 252, 4, 565 (2003)
- M. Steglich, A. Bingel, G. Jia, F. Falk. Solar Energy Mater. Solar Cells 103, 62 (2012)
- K. Zhao, J. Xie, Y. Zhao, D. Han, Y. Wang, B. Liu, J. Dong. Nanomater. 12, 2, 172 (2022)
- А.А. Рябко, А.И. Максимов, В.Н. Вербицкий, В.С. Левицкий, В.А. Мошников, Е.И. Теруков. ФТП 54, 11, 1251 (2020)
- A. Komolov, K. Schaumburg, P.J. Moller, V.V. Monakhov. Appl. Surf. Sci. 142, 1--4, 591 (1999)
- J. Joo, B.Y. Chow, M. Prakash, E.S. Boyden, J.M. Jacobson. Nature Mater. 10, 8, 596 (2011)
- S. Iaiche, A. Djelloul. J. Spectroscopy 2015, 836859 (2015)
- H.H.-Ch. Lai, T. Basheer, V.L. Kuznetsov, R.G. Egdell, R.M.J. Jacobs, M. Pepper, P.P. Edwards. J. Appl. Phys, 112, 8, 083708 (2012)
- S. Wu, M.-Y. Lin, S.-H. Chang, W.-C. Tu, C.-W. Chu, Y.-C. Chang. J. Phys. Chem. C 122, 1, 236 (2018)
- J. Yang, B.S. Eller, M. Kaur, R.J. Nemanich. J. Vacuum Sci. Technol. A 32, 2, 021514 (2014)
- A. Mov skova, M. Mov sko, M. Precner, M. Mikolav sek, A. Rosova, M. Miv cuv si k, V. v Strbi k, J. v Soltys, F. Gucmann, E. Dobrov cka, K. Frohlich. J. Appl. Phys. 130, 3, 035106 (2021)
- R.E. Vesto, R. Wilson, H. Choi, K. Kim. AIP Advances 10, 9, 095211 (2020)
- С.С. Карпова, В.А. Мошников, С.В. Мякин, Е.С. Коловангина. ФТП 47, 3, 369 (2013)
- С.С. Карпова, В.А. Мошников, А.И. Максимов, С.В. Мякин, Н.Е. Казанцева. ФТП 47, 8, 1022 (2013)
- И.А. Пронин, Н.Д. Якушова, И.А. Аверин, А.А. Карманов, А.С. Комолов, М.М. Сычев, В.А. Мошников, Е.И. Теруков. Неорган. материалы 57, 11, 1207 (2021). 
		
			Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
		
		
			Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.