Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Получение текстурированных пленок FeCo(110) и FeCo(200) магнетронным распылением на постоянном токе

DOI: 10.21883/FTT.2022.02.51940.222

Переводная версия: 10.21883/PSS.2022.02.52976.222

Джумалиев A.С. ^1,2, Сахаров В.К.

¹Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия Saratov Branch, Kotel’nikov Institute of Radio Engineering and Electronics, Russian Academy of Sciences, Saratov, Russia

Saratov Branch, Kotel’nikov Institute of Radio Engineering and Electronics, Russian Academy of Sciences, Saratov, Russia

²Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия Saratov State University, Saratov, Russia

Saratov State University, Saratov, Russia

Email: dzhas@yandex.ru

Поступила в редакцию: 20 октября 2021 г.

В окончательной редакции: 20 октября 2021 г.

Принята к печати: 25 октября 2021 г.

Выставление онлайн: 16 ноября 2021 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Представлены результаты исследования влияния напряжения смещения U_b и температуры подложки T_s на текстуру пленок FeCo толщиной 180 nm, осажденных магнетронным распылением на постоянном токе на подложки Si/SiO₂. Показано, что изменение U_b от -250 до ~-80 V приводит к росту пленок с текстурой (110). Дальнейшее изменение U_b от -80 до 250 V приводит к росту пленок с текстурой (200). Пленки, выращенные при U_b=0 и T_s=60-300^oС, имеют текстуру (200). Дальнейшее увеличение T_s приводит изменению текстуры пленок на текстуру (110). Ключевые слова: пленки FeCo, магнетронное распыление, текстура, коэрцитивность.

H.S. Jung, W.D. Doyle, S. Matsunuma. J. Appl. Phys. 93, 10, 6462 (2003)
L. Platt, A.E. Berkowitz, D.J. Smith, M.R. McCartney. J. Appl. Phys. 88, 4, 2058 (2000)
J.-W. Cai, O. Kitakami, Y. Shimada. J. Phys. D 28, 9, 1778 (1995)
G. Pan, H. Du. J. Appl. Phys. 93, 9, 5498 (2003)
S. Cakmaktepe, M.I. Coskun, A. Yildiz. Lithuanian J. Phys. 53, 2, 112 (2013)
M. Vopsaroiu, M. Georgieva, P.J. Grundy, G. Vallejo Fernandez, S. Manzoor, M.J. Thwaites, K. O'Grady. J. Appl. Phys. 97, 10, 10N303 (2005)
M.D. Cooke, L.-C. Wang, R. Watts, R. Zuberek, G. Heydon, W.M. Rainforth, G.A. Gehring. J. Phys. D 33, 12, 1450 (2000)
P. Zou, W. Yu, J.A. Bain. IEEE Trans. Magn. 38, 5, 3501 (2002)
H. Ono, M. Ishida, M. Fujinaga, H. Shishido, H. Lnaba. J. Appl. Phys. 74, 8, 5124 (1993)
А.С. Джумалиев, C.Л. Высоцкий, В.К. Сахаров. ФТТ 62, 12, 2174 (2020)
H.-E. Cheng, M.-Y. Hon. J. Appl. Phys. 79, 10, 8047 (1996)
W. Yu, J.A. Bain, Y. Peng, D.E. Laughlin. IEEE Trans. Magn. 38, 5, 3030 (2002)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель