Получение текстурированных пленок FeCo(110) и FeCo(200) магнетронным распылением на постоянном токе
Джумалиев A.С.
1,2, Сахаров В.К.
11Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия
2Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия
Email: dzhas@yandex.ru
Поступила в редакцию: 20 октября 2021 г.
В окончательной редакции: 20 октября 2021 г.
Принята к печати: 25 октября 2021 г.
Выставление онлайн: 16 ноября 2021 г.
Представлены результаты исследования влияния напряжения смещения Ub и температуры подложки Ts на текстуру пленок FeCo толщиной 180 nm, осажденных магнетронным распылением на постоянном токе на подложки Si/SiO2. Показано, что изменение Ub от -250 до ~-80 V приводит к росту пленок с текстурой (110). Дальнейшее изменение Ub от -80 до 250 V приводит к росту пленок с текстурой (200). Пленки, выращенные при Ub=0 и Ts=60-300oС, имеют текстуру (200). Дальнейшее увеличение Ts приводит изменению текстуры пленок на текстуру (110). Ключевые слова: пленки FeCo, магнетронное распыление, текстура, коэрцитивность.
- H.S. Jung, W.D. Doyle, S. Matsunuma. J. Appl. Phys. 93, 10, 6462 (2003)
- L. Platt, A.E. Berkowitz, D.J. Smith, M.R. McCartney. J. Appl. Phys. 88, 4, 2058 (2000)
- J.-W. Cai, O. Kitakami, Y. Shimada. J. Phys. D 28, 9, 1778 (1995)
- G. Pan, H. Du. J. Appl. Phys. 93, 9, 5498 (2003)
- S. Cakmaktepe, M.I. Coskun, A. Yildiz. Lithuanian J. Phys. 53, 2, 112 (2013)
- M. Vopsaroiu, M. Georgieva, P.J. Grundy, G. Vallejo Fernandez, S. Manzoor, M.J. Thwaites, K. O'Grady. J. Appl. Phys. 97, 10, 10N303 (2005)
- M.D. Cooke, L.-C. Wang, R. Watts, R. Zuberek, G. Heydon, W.M. Rainforth, G.A. Gehring. J. Phys. D 33, 12, 1450 (2000)
- P. Zou, W. Yu, J.A. Bain. IEEE Trans. Magn. 38, 5, 3501 (2002)
- H. Ono, M. Ishida, M. Fujinaga, H. Shishido, H. Lnaba. J. Appl. Phys. 74, 8, 5124 (1993)
- А.С. Джумалиев, C.Л. Высоцкий, В.К. Сахаров. ФТТ 62, 12, 2174 (2020)
- H.-E. Cheng, M.-Y. Hon. J. Appl. Phys. 79, 10, 8047 (1996)
- W. Yu, J.A. Bain, Y. Peng, D.E. Laughlin. IEEE Trans. Magn. 38, 5, 3030 (2002)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
