Исследование параметров сверхпроводящих и изолирующих элементов структур, получаемых на пленках YBCO методом задающей маски, при уменьшении их размеров
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 20-08-01006
Мастеров. Д.В.1, Павлов C.A.1, Парафин A.E.1, Скороходов E.B.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: masterov@ipmras.ru, pavlov@ipmras.ru, parafin@ipmras.ru, evgeny@ipmras.ru@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 9 апреля 2021 г.
В окончательной редакции: 9 апреля 2021 г.
Принята к печати: 19 апреля 2021 г.
Выставление онлайн: 6 июня 2021 г.
Настоящая работа посвящена исследованию электрофизических параметров сверхпроводящих и изолирующих элементов планарных структур, изготавливаемых методом задающей маски на основе высокотемпературного сверхпроводника YBa2Cu3O7-d, при уменьшении размеров элементов до значений порядка одного микрометра. С использованием стандартной фотолитографии методом задающей маски получены структуры со сверхпроводящими элементами шириной 2 μm и параметрами, достаточными для приборных применений. Ключевые слова: нано- и микроструктуры, дефекты, рост в локальных областях, YBCO.
- E. Il'ichev, L. Dorrer, F. Schmidl, V. Zakosarenko, P. Seidel, G. Hildebrandt. Appl. Phys. Lett. 68, 708 (1996)
- M.I. Faley, U. Poppe, K. Urban, V.Yu. Slobodchikov, Yu.V. Maslennikov, A. Gapelyuk, B. Sawitzki, A. Schirdewan. Appl. Phys. Lett. 81, 2406 (2002)
- W. Lang, M. Marksteiner, M.A. Bodea, K. Siraj, J.D. Pedarnig, R. Kolarova, P. Bauer, K. Haselgrubler, C. Hasenfuss, I. Beinik, C. Teichert. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. 272, 300 (2012)
- M. Malnou, C. Feuillet-Palma, C. Ulysse, G. Faini, P. Febvre, M. Sirena, L. Olanier, J. Lesueur, N. Bergeal. J. Appl. Phys. 116, 074505 (2014)
- Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, П.А. Юнин. ПЖТФ 42, 11, 82 (2016)
- Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, Л.С. Ревин, А.Л. Панкратов. Патент РФ на полезную модель N 188983 (2019)
- Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, Е.В. Скороходов. ФТТ 62, 9, 1398 (2020)
- Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, П.А. Юнин. ЖТФ 90, 10, 1677 (2020)
- Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, A.Е. Парафин, Е.В. Скороходов, П.А. Юнин. ФТТ 60, 11, 2100 (2018)
- A.M. Klushin, M. He, M.Yu. Levitchev, V.V. Kurin, N. Klein. J. Phys. Conf. Ser. 97, 012268 (2008)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
