Вышедшие номера
Управление свойствами алмазоподобных кремнийуглеродных пленок
Переводная версия: 10.1134/S1063783420100261
Российского фонда фундаментальных исследований (РФФИ), А, 19-07-00021
Попов А.И.1,2, Баринов А.Д.1,2, Емец В.М.1, Чуканова Т.С.1, Шупегин М.Л.1
1Национальный исследовательский университет "МЭИ", Москва, Россия
2Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, Москва, Россия
Email: popovai2009@gmail.com
Поступила в редакцию: 28 мая 2020 г.
В окончательной редакции: 28 мая 2020 г.
Принята к печати: 4 июня 2020 г.
Выставление онлайн: 1 июля 2020 г.

Рассмотрены возможности управления электрофизическими и механическими свойствами аморфных алмазоподобных кремнийуглеродных пленок методами структурной, химической и структурно-химической модификации. В качестве факторов структурной модификации использовались величина напряжения смещения и его частота в процессе синтеза пленок, давление аргона в рабочей камере, а также прекурсоры с различной молекулярной структурой. Для химической и структурно-химической модификации осуществлялось введение в пленку переходных металлов с концентрацией до 30-35 аt.%. Показана высокая эффективность управления физическими свойствами пленок рассматриваемыми методами. Ключевые слова: кремнийуглеродные пленки, полифенилметилсилоксан, полиметилсилоксан, структурная, химическая и структурно-химическая модификация, нанокомпозиты, электропроводность, нанотвердость.
  1. Н.А. Горюнова, Б.Т. Коломиец. Изв. АН ССС. Сер. физ. 20, 1496 (1956)
  2. W.E. Spear, P.G. Le Comber. Solid State Commun. 17, 1193 (1975)
  3. S.R. Ovshinsky. In: Amorphous and Liquid Semiconductors / Ed. W.E. Spear. University of Edinburgh, UK (1977) P. 519
  4. A. Popov, N. Mikhalev, V. Shemetova. Phil. Mag. B 47, 73 (1983)
  5. А.И. Попов, В.А. Воронцов, И.А. Попов. ФТП 35, 665 (2001)
  6. v S. Mev skinis, A. Tamuleviv ciene. Mater. Sci. (Medv ziagotyra) 17, 358 (2011)
  7. F. Mangolini, B.A. Krick, T.D.B. Jacobs, S.R. Khanal, F. Streller, J.B. McClimon, J. Hilbert, S.V. Prasad, T.W. Scharf, J.A. Ohlhausen, J.R. Lukes, W.G. Sawyer, R.W. Carpick. Carbon 130, 127 (2018)
  8. A.I. Popov, A.D. Barinov, M.Y. Presniakov. J. Nanoelectron. Optoelectron. 9, 787 (2014)
  9. E.V. Zavedeev, O.S. Zilova, M.L. Shupegin, A.D. Barinov, N.R. Arutyunyan, T. Roch, S.M. Pimenov. Appl. Phys. A 122 : 961. DOI: 10.1007/s00339-016-0508-7(2016)
  10. A. Popov. Disordered Semiconductors: Physics and Applications. 2d ed. Pan Stanford Publ. (2018). 327 p
  11. М.Л. Шупегин. Завод. лаб. Диагностика материалов 79, 28 (2013)
  12. Б.Г. Будагян, А.А. Шерченков, А.Е. Бердников, В.Д. Черномордик. Микроэлектроника 29, 442 (2000)
  13. А.А. Шерченков. Материалы электронной техники 1, 48 (2003)
  14. М.Д. Малинкович, Ю.Н. Пархоменко, Д.С. Поляков, М.Л. Шупегин. Материалы электронной техники 1, 41 (2010)
  15. T. Tamuleviv cius, D.Tamuleviv ciene, A. Virganaviv cius, V. Vasiliauskas, v S. Kopustinskas, S. Mev skinis. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 341, 1 (2014)
  16. М.Ю. Пресняков, А.И. Попов, Д.С. Усольцева, М.Л. Шупегин, А.Л. Васильев. Рос. нанотехнологии 9, 59 (2014)
  17. А.А. Снарский, И.В. Безсуднов, В.А. Севрюков. Процессы переноса в макроскопически неупорядоченных средах: от теории среднего поля до перколяции. ЛКИ, М. (2007). 304 с
  18. Я.М. Колотырин, В.М. Княжева. В сб.: Итоги науки и техники. ВИНИТИ, М. (1974). Т. 3. С. 5
  19. А.Д. Баринов, А.И. Попов, М.Ю. Пресняков. Неорган. материалы, 53, 706 (2017)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.