Вышедшие номера
Особенности теплопереноса в гетероструктурах AlxGa1-xN/GaN на сапфире
Переводная версия: 10.1134/S106378342004006X
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), А, 19-07-00229
Чернодубов Д.А.1, Майборода И.О.1, Занавескин М.Л.1, Инюшкин А.В.1
1Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
Email: Chernodubov_DA@nrcki.ru
Поступила в редакцию: 14 ноября 2019 г.
В окончательной редакции: 14 ноября 2019 г.
Принята к печати: 28 ноября 2019 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2020 г.

Измерена теплопроводность тонких слоев гетероструктур AlxGa1-xN/GaN (0.05≤ x≤1) на сапфире, полученных методом молекулярно-лучевой эпитаксии. Получены значения теплопроводности тонких пленок AlxGa1-xN и GaN при комнатной температуре. Концентрационная зависимость теплопроводности проанализирована с использованием модели теплопроводности виртуального кристалла. Проведено численное моделирование теплопереноса в структуре при нагреве в локальной области и предложены оптимальные размеры толщин слоев структуры для достижения высокой величины теплопроводности. Ключевые слова: теплопроводность, нитрид галлия, нитрид алюминия, сапфир, 3-омега-метод измерения теплопроводности.
  1. Ю. Федоров. Электроника НТБ 2, 92 (2011)
  2. D. Maier, M. Alomari, N. Grandjean, J.-F. Carlin, M.-A. Forte-Poisson, C. Dua, A. Chuvilin, D. Troadec, C. Gaquie're, U. Kaiser, S.L. Delage, E. Kohn. IEEE Trans. Dev. Mater. Rel. 10, 427 (2010)
  3. A. Jezowski, O. Churiukova, J. Mucha, T. Suski, I. Obukhov, B. Danilchenko. Mater. Res. Express 2, 085902 (2015)
  4. G.A. Slack, R.A. Tanzilli, R. Pohl, J. Vandersande. J. Phys. Chem. Solids 48, 641 (1987)
  5. W. Liu, A.A. Balandin. J. Appl. Phys. 97, 073710 (2005)
  6. C.A. Polanco, L. Lindsay. Phys. Rev. B 99, 075202 (2019)
  7. A. Sarua, H. Ji, K. Hilton, D. Wallis, M.J. Uren, T. Martin, M. Kuball. IEEE Trans. Electron Dev. 54, 3152 (2007)
  8. A. van Roekeghem, B. Vermeersch, J. Carrete, N. Mingo. Phys. Rev. Appl. 11, 034036 (2019)
  9. K. Park, C. Bayram. Appl. Phys. Lett. 109, 151904 (2016)
  10. D.G. Cahill. Rev. Sci. Instrum. 61, 802 (1990)
  11. D.A. Chernodoubov, A.V. Inyushkin. Rev. Sci. Instrum. 90, 024904 (2019)
  12. J. Alvarez-Quintana, J. Rodri guez-Viej. Sens. Actuat. A-Phys. 142, 232 (2008)
  13. B. Abeles. Phys. Rev. 131, 1906 (1963)
  14. P.G. Klemens. In: Solid State Phys. / Ed. F. Seitz, D. Turnbull. Academic Press, Inc., N.Y. (1958). V. 7. P. 1--98
  15. A. Jezowski, B. Danilchenko, M. Bockowski, I. Grzegory, S. Krukowski, T. Suski, T. Paszkiewicz. Solid State Commun. 128, 69 (2003)
  16. R.R. Reeber, K. Wang. MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 6 (2001)
  17. C. Mion, J.F. Muth, E.A. Preble, D. Hanser. Appl. Phys. Lett. 89, 092123 (2006)
  18. D.I. Florescu, V.M. Asnin, F.H. Pollak, R.J. Molnar, C.E.C. Wood. J. Appl. Phys. 88, 3295 (2000)
  19. C. Luo, D.R. Clarke, J.R. Dryden. J. Electron. Mater. 30, 138 (2001)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.