Вышедшие номера
Ловушки в нанокомпозитном слое кремний-диоксид кремния и их влияние на люминесцентные свойства
Переводная версия: 10.1134/S1063783419080110
Дементьев П.А. 1, Иванова E.B. 1, Заморянская M.B.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: ivanova@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 15 апреля 2019 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2019 г.

Исследованы ловушки носителей заряда в термических пленках диоксида кремния и диоксиде кремния с нанокомпозитным слоем, состоящим из оксида кремния и нанокристаллитов кремния, методами кельвин-зонд микроскопии и катодолюминесценции. На основании экспериментальных исследований установлено присутствие в образцах ловушек электронов и дырок. Продемонстрированно влияние зарядового состояния ловушек электронов на люминесцентные свойства пленок. Показано, что количество ловушек в нанокомпозитных слоях больше, чем в термических окислах, однако их энергии активации близки по своим значениям. Это говорит о том, что природа ловушек в таких слоях одинакова. Ключевые слова: ловушки электронов, ловушки дырок, нанокластеры кремния, люминесценция.
  1. V. Kumar. Nanosilicon, Elsevier (2007) p. 361
  2. S. Tiwari, F. Rana, H. Hanafi, A. Hartstein, E.F. Crabbe, K. Chan. Appl. Phys. Lett. 68, 1377 (1996)
  3. S.K. Lai. IBM J. Res. Dev. 52, 529 (2008)
  4. L. Khriachtchev. Silicon Nanophotonics: Basic Principles, Current Status and Perspectives, Pan Stanford (2008)
  5. G. Conibeera, M. Greena, R. Corkisha, Y. Choa, E.-C. Chob, C.-W. Jianga, T. Fangsuwannaraka, E. Pinka, Y. Huanga, T. Puzzera, T. Trupkea, B. Richardsc, A. Shalava, K.-I. Lin. Thin Solid Films 511- 512, 654 (2006)
  6. Е.В. Иванова, А.А. Ситникова, О.В. Александров, М.В. Заморянская. ФТП 50, 6, 807 (2016)
  7. E.V. Ivanova, P.A. Dementev, A.A. Sitnikova, O.V. Aleksandrov, M.V. Zamoryanskaya. J. Electron. Mater. 47, 7, 3969 (2018)
  8. Е.В. Иванова, М.В. Заморянская. ФТТ 58, 10, 1895 (2016)
  9. D. Lehninger, P. Seidel, M. Geyer, F. Schneider, V. Klemm, D. Rafaja, J. von Borany, J. Heitmann. Appl. Phys. Lett. 106, 023116 (2015)
  10. E. Yurchuk, J. Muller, S. Muller, J. Paul, M. Pesic, R. van Bentum, U. Schroeder, T. Mikolajick. IEEE Transactions On Electron Devices 63, 9, 3501 (2016)
  11. M.S. Dunaevskiy, P.A. Alekseev, P. Girard, E. Lahderanta, A. Lashkul, A.N. Titkov. J. Appl. Phys. 110, 084304 (2011)
  12. Ze-Qun Cui, Shun Wang, Jian-Mei Chen, Xu Gao, Bin Dong, Li-Feng Chi, Sui-Dong Wang. Appl. Phys. Lett. 106, 123303 (2015)
  13. P.A. Dement'ev, P.A. Alekseev, M.S. Dunaevskii, A.N. Aleshin. J. Phys.: Conf. Ser. 661, 012029 (2015)
  14. K.N. Orekhova, R. Tomala, D. Hreniak, W. Strek, M.V. Zamoryanskaya. Opt. Mater. 74, SI, 170 (2016)
  15. M.V. Zamoryanskaya, S.G. Konnikov, A.N. Zamoryanskii. Instrum. Exp. Tech. 47, 4, 477 (2004)
  16. J. Goldstein, D. Newbury, D. Joy, C. Lyman, P. Echlin, E. Lifshin. Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis. Kluwer Academic/Plenum Publishers, N.Y. (2003). p. 689
  17. M.M. Perlman, T.J. Sonnonstine, J.A.St. Pierre. J. Appl. Phys. 47, 5016 (1976)
  18. L.N. Skuja, A.R. Silin. Physica Status Solidi A 70, 43 (1982)
  19. H.-J. Fitting, T. Barfels, A.N. Trukhin, B. Schmidt, A. Gulans, A. Von Czarnovski. J. Non-Cryst. Solids 303, 218 (2002)
  20. E.V. Kolesnikova (Ivanova) , M.V. Zamoryanskaya. Physica B: Condens. Matter, 404, 4653 (2009)
  21. О.В. Александров, Н.Н. Афонин. ЖТФ 73, 5, 57 (2003)
  22. О.В. Александров, Н.Н. Афонин. ФТП 32, 1, 19 (1998)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.