Издателям
Вышедшие номера
Влияние состава твердого раствора на высокотемпературную микротвердость гетероэпитаксиальных слоев SiGe, выращенных на подложках Ge и Si
Меженный М.В.1, Мильвидский М.Г.2, Югова Т.Г.1
1ФГУП "Гиредмет", Москва, Россия
2Институт химических проблем микроэлектроники, Москва, Россия
Email: icpm@mail.girmet.ru
Поступила в редакцию: 4 февраля 2003 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2003 г.

Исследовано влияние состава эпитаксиальных слоев (ЭС) твердого раствора (TP) SixGe1-x, выращенных на Ge- и Si-подложках, на микротвердость и длину дислокационных розеток, образующихся вокруг отпечатков индентора (при гомологической температуре 0.5Tmelt для соответствующего сплава). Для ЭС ТР SixGe1-x/Ge (0=<q x<0.15) и SixGe1-x/Si (0.85<x=<q 1) зависимости микротвердости и длины дислокационных розеток от состава ТР носят немонотонный характер. Наиболее вероятной причиной обнаруженного немонотонного изменения пластичности ЭС является упрочнение ТР в определенном диапазоне составов, обусловленное их спинодальным распадом с образованием кластеров и дисперсных выделений.
  • М.Г. Мильвидский, В.Б. Освенский. Дефекты структуры в эпитаксиальных слоях полупроводниковых материалов. Металлургия, М. (1985)
  • I. Yonenaga. Physica B 273--274, 612 (1999)
  • B. Roos, H. Richter, J. Wollweber. Solid State Phenomena 47--48, 509 (1996)
  • D.Y. Watts, A.F.W. Willoughby. Mater. Lett. 2, 355 (1984)
  • В.М. Глазов, В.Н. Вигдорович. Микротвердость металлов и полупроводников. Мир, М. (1971)
  • В.Р. Регель, А.И. Слуцкер, Э.Е. Томашевский. Кинетическая природа прочности твердых тел. Наука, М. (1974). С. 456
  • L. Garbato, A. Rucci. Phil. Mag. 35, 6, 1681 (1977)
  • С.С. Горелик, Ю.М. Литвинов, М.Г. Лозинский. Электронная техника. Сер. 6. Материалы 6, 54 (1975)
  • V.I. Vdovin, M.G. Mil'vidskii, T.G. Yugova, K.L. Lyutovich, S.M. Saidov. J. Cryst. Growth 141, 109 (1994)
  • T.G. Yugova, V.I. Vdovin, M.G. Mil'vidskii, L.K. Orlov, V.A. Tolomasov, A.V. Potapov, N.V. Abrosimov. Thin Solid Films 336, 112 (1998)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.