Издателям
Вышедшие номера
Исследование изолирующей области планарных сверхпроводниковых YBCO-структур, формируемых методом задающей маски
Мастеров Д.В.1, Павлов С.А.1, Парафин A.Е.1, Скороходов Е.В.1, Юнин П.А.1
1Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород, Россия
Email: parafin@ipmras.ru
Выставление онлайн: 20 октября 2018 г.

Рассмотрено развитиe нового способа формирования планарных структур на основе высокотемпературного сверхпроводника YBCO --- метода "задающей маски". Суть метода заключается в том, что на исходной подложке создается маска, а после осаждения YBCO сверхпроводящие элементы оказываются сформированными в заданных локальных окнах маски, а между ними образуются разделительные области. Такие условия роста позволяют получать сверхпроводящие элементы микронного размера с высокими электрофизическими параметрами и гладкой поверхностью. Исследовано влияние параметров задающей маски из аморфного оксида церия на изолирующие свойства получаемых разделительных областей при изготовлении планарных структур на подложках из сапфира и фианита с эпитаксиальными подслоями оксида церия. Работа поддержана РНФ, проект N 16-19-10478. Использовано оборудование ЦКП "Физика и технология микро- и наноструктур".
  • E. Il'ichev, L. Dorrer, F. Schmidl, V. Zakosarenko, P. Seidel, G. Hildebrandt. Appl. Phys. Lett. 68, 708, (1996)
  • M.I. Faley, U. Poppe, K. Urban, V.Yu. Slobodchikov, Yu.V. Maslennikov, A. Gapelyuk, B. Sawitzki, A. Schirdewan. Appl. Phys. Lett. 81, 2406, (2002)
  • W. Lang, M. Marksteiner, M.A. Bodea, K. Siraj, J.D. Pedarnig, R. Kolarova, P. Bauer, K. Haselgrubler, C. Hasenfuss, I. Beinik, C. Teichert. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. 272, 300, (2012)
  • M. Malnou, C. Feuillet-Palma, C. Ulysse, G. Faini, P. Febvre, M. Sirena, L. Olanier, J. Lesueur, N. Bergeal. J. Appl. Phys. 116, 074505 (2014)
  • D.V. Masterov, A.E. Parafin, L.S. Revin, A.V. Chiginev, E.V. Skorokhodov, P.A. Yunin, A.L. Pankratov. Supercond. Sci. Technol., 30, 025007, (2017)
  • Сeraco ceramic coating GmbH. Data sheet HTS coatings. http://www.ceraco.de/hts-films
  • L.S. Revin, A.L. Pankratov, A.V. Chiginev, D.V. Masterov, A.E. Parafin, S.A. Pavlov. Proc. of 16th (ISEC'2017) DOI: 10.1109/ISEC.2017.8314206
  • A.M. Klushin, M. He, S.L. Yan, N. Klein. Appl. Phys. Lett. 89, 232505, (2006)
  • P.V. Komissinski, E. Il'ichev, G.A. Ovsyannikov, S.A. Kovtonyuk, M. Grajcar, R. Hlubina, Z. Ivanov, Y. Tanaka, N. Yoshida, S. Kashiwaya. Europhys. Lett., 57, 585 (2002)
  • Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, П.А. Юнин. ПЖТФ 42, 82, (2016)
  • Ю.Н. Дроздов, Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, П.А. Юнин. ЖТФ 85, 109, (2015)