1Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Москва, Россия
2Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, Москва, Россия
3Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
4Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка, Московская обл., Россия
5Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
