Вышедшие номера
Высокоскоростной композитный микроактюатор на основе сплава Ti2NiCu с эффектом памяти формы
Переводная версия: 10.1134/S1063783418060173
Кучин Д.С.1, Лега П.В.1, Орлов А.П. 1,2, Фролов А.В.1, Иржак А.В.3,4, Жихарев А.М.1, Каманцев А.П.1, Коледов В.В.1, Шеляков А.В.5, Шавров В.Г.1
1Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Москва, Россия
2Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, Москва, Россия
3Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
4Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка, Московская обл., Россия
5Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
Email: andreyorlov@mail.ru, lega_peter@list.ru
Выставление онлайн: 20 мая 2018 г.

На основе биморфного композита из сплава Ti2NiCu c термоупругим мартенситным переходом и эффектом памяти формы изготовлены образцы микроактюаторов и исследовано их быстродействие. Активный слой композитного актюатора представляет собой предварительно псевдопластически растянутый слой быстрозакаленного сплава Ti2NiCu, а в качестве упругого слоя используется аморфный слой того же сплава. Типичные размеры микроактюатора - 30x2x2 mum. Управляемая амплитуда перемещения кончика микроактюатора составляет около 1 mum. Исследование быстродействия микроактюатора проводилось с помощью сканирующей электронной микроскопии. Активация микроактюатора достигалась нагревом при пропускании через него импульсов электрического тока. Продемонстрировано полное срабатывание микроактюатора на частотах до 1 kHz, частичное срабатывание наблюдалось на частотах вплоть до 8 kHz. Показана возможность работы устройства в автоколебательном режиме на частотах порядка 100 kHz. Работа поддержана Российским научным фондом, грант N 17-19-01748. Моделирование было выполнено в рамках гранта РФФИ N 18-37-00466.