Вышедшие номера
Распределение интенсивности трехволновой дифракции от дислокационных эпитаксиальных слоев в обратном пространстве
Переводная версия: 10.1134/S1063783418040182
Кютт Р.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: r.kyutt@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 3 ноября 2017 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2018 г.

Экспериментально иссследована трехволновая дифракция рентгеновских лучей в сильнонарушенных эпитаксиальных слоях GaN и ZnO. Построены карты распределения интенсивности в обратном пространстве в координатах qtheta и qvarphi для наиболее интенсивной трехволновой комбинации (1010)/(1011) путем последовательных theta и varphi-сканирования. Обнаружена нетривиальная форма theta-сечений этих контуров вдали от varphi-центра отражения, неодинаковая для разных образцов. Для theta-кривых в центре отражения наблюдается единый пик, аппроксимируемый функцией Войта со степенным спадом интенсивности на крыльях, при этом закон спаданий (-4.5 - -5.0) заметно больше, чем для аналогичнх кривых двухволновой дифракции, и не зависит от плотности и распределения дислокаций в слоях. В некоторых пленках имеет место крупноблочная структура, при этом из распределения в обратном пространстве следует, что эти блоки развернуты друг относительно друга вокруг нормали к поверхности, что заставляет предположить между ними малоугловые границы, состоящие исключительно из краевых дислокаций. Работа выполненаа при частичной поддержке гранта РФФИ N 16-02-00702. DOI: 10.21883/FTT.2018.04.45676.311
  1. J.M. Sasaki, L.P. Cardoso, C. Campos, K.J. Roberts, G.F. Clark, E. Pantos, M.A. Sacilott. J. Appl. Phys. 79, 3492 (1996)
  2. D. Korytar, C. Ferrary, Z. Bochnicek. J. Appl. Cryst. 31, 570 (1998)
  3. R.O. Freitas, T.E. Lamas, A.A. Quivy, S.L. Morelhao. Phys. Status Solidi A 204, 2548 (2007)
  4. J. Blasing, A. Krost. Phys. Status Solidi A 201, 17 (2004)
  5. J. Blassing, A. Krost, J. Hertkorn. J. Appl. Phys. 105, 033504 (2009)
  6. M. Grundman, M. Scheibe, M. Loren, J. Blasing, A. Krost. Phys. Status Solidi A 251, 850 (2014)
  7. Р.Н. Кютт. Письма в ЖТФ 36, 15, 14 (2010)
  8. Р.Н. Кютт. ЖТФ 81, 5, 81 (2011)
  9. R.N. Kyutt, M.P. Scheglov. J. Appl. Cryst. 46, 861 (2013)
  10. Р.Н. Кютт. ЖТФ 87, 578 (2017)
  11. E. Rossmanith. J. Appl. Cryst. 33, 1405 (2000).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.