Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия пленок стабилизированного диоксида циркония со встроенными наночастицами Au, сформированными в процессе облучения ионами золота
Минобрнауки РФ, базовая часть госзадания, 16.7864.2017/БЧ
Зубков С.Ю.1, Антонов И.Н.1, Горшков О.Н.1, Касаткин А.П.1, Крюков Р.Н.1, Николичев Д.Е.1, Павлов Д.А.1, Шенина М.Е.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: zubkov@phys.unn.ru
Поступила в редакцию: 15 августа 2017 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2018 г.
Наноразмерные пленки стабилизированного диоксида циркония с наночастицами Au, сформированными имплантацией ионов Au, исследованы методами рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и просвечивающей электронной микроскопии. Исследовано влияние облучения пленок ионами Au и постимплантационного отжига на распределение в них по глубине химических элементов и цирконийсодержащих соединений ZrOx. На основе данных о размерном сдвиге фотоэлектронной линии Au 4f определено среднее значение диаметра наночастиц. Работа выполнена при финансовой поддержке Минобрнауки РФ в рамках базовой части госзадания N 16.7864.2017/БЧ. DOI: 10.21883/FTT.2018.03.45566.249
- J.D. Hwang, F.H. Wang, C.Y. Kung, M.J. Lai, M.C. Chan. J. Appl. Phys. 115, 17, 173110 (2014)
- G. Mattei, P. Mazzoldi, H. Bernas. Top. Appl. Phys. 116, 287 (2010)
- В.Н. Чеботин, М.В. Перфильев. Электрохимия твердых электролитов / Под ред. В.Н. Чеботина. Химия, М. (1978). С. 312
- D. Panda, T.-Y. Tseng. Thin Solid Films 531, 1 (2013)
- О.Н. Горшков, Т.А. Грачева, А.П. Касаткин, Н.Д. Малыгин, В.А. Новиков, А.Ф. Щуров. Высокочистые вещества 2, 85 (1995)
- O.N. Gorshkov, V.A. Novikov, A.P. Kasatkin. Tech. Phys. Lett. 25, 7, 580 (1999)
- O.N. Gorshkov, I.N. Antonov, D.O. Filatov, M.E. Shenina, A.P. Kasatkin, D.A. Pavlov, A.I. Bobrov. Tech. Phys. Lett. 42, 1, 36 (2016)
- O.N. Gorshkov, M.E. Shenina, A.P. Kasatkin, D.A. Pavlov, I.N. Antonov, A.I. Bobrov, D.O. Filatov. Tech. Phys. Lett. 41, 6, 543 (2015)
- S.V. Tikhov, O.N. Gorshkov, I.N. Antonov, A.P. Kasatkin, M.N. Koryazhkina. Tech. Phys. Lett. 40, 10, 837 (2014)
- О.Н. Горшков, В.А. Новиков, А.П. Касаткин. Неорган. материалы 35, 604 (1999)
- http://www.scientaomicron.com/
- XPS/AES software. http://www.xpsdata.com/
- F. Iacona, R. Kelly, G. Marletta. J. of Vacuum Science \& Technology A. 17, 2771 (1999)
- M.-S. Kim, Y.-D. Ko, J.-H. Hong, M.-C. Jeong, J.-M. Myoung, I. Yun. Appl. Surf. Sci. 227, 387 (2004)
- Н.В. Плешивцев, А.И. Бажин. Физика воздействия ионных пучков на материалы. Вузовская книга, М. (1998). С. 392
- Handbooks of monochromatic XPSspectra. Vol. 1. The elements and native oxides. / Ed. by B.V. Crist, XPS International LLC. (1999). 658 p
- Handbooks of monochromatic XPS spectra. Vol. 2. Commercially pure binary oxides and a few common carbonates and hydroxides. / Ed by B.V. Crist, XPS International LLC. (2005). 970 p
- С.А. Маклаков, В.А. Жаботинский, Г.Ф. Ивановский, В.И. Кузькин, В.В. Слепцов. Получение пленок двуокиси кремния методом высокочастотного магнетронного распыления. Зарубежная электронная техника. N 2 (321). Изд-во ЦНИИ Электроника", М. (1982). С. 100
- A. Meldrum, R. Lopez, R.H. Magruder, L.A. Boatner, C.W. White. Top. Appl. Phys. 116, 255 (2010)
- K. Takahiro, S. Oizumi, K. Morimoto, K. Kawatsura, T. Isshiki, K. Nishio, S. Nagata, S. Yamamoto, K. Narumi, H. Naramoto. Appl. Surf. Sci. 256, 4, 1061 (2009)
- S. Shukla, S. Seal. NanoStructured Materials 11, 8, 1181 (1999)
- D. Dalacu, J.E. Klemberg-Sapieha, L. Martinu. Surf. Sci. 472, 1, 33 (2001)
- M.G. Mason, L.J. Gerenser, S.-T. Lee. Phys. Rev. Lett. 39, 5, 288 (1977)
- F. Parmigiani, E. Kay, P.S. Bagus, C.J. Nelin. J. Electron Spectr. Relat. Phenom. 36, 3, 257 (1985)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
