Издателям
Вышедшие номера
Влияние дозы имплантации и длительности отжига на люминесцентные свойства (113) дефектов в Si, имплантированном ионами кислорода
Соболев Н.А.1, Калядин А.Е.1, Аруев П.Н.1, Забродский В.В.1, Шек Е.И.1, Штельмах К.Ф.1,2, Карабешкин К.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
Email: nick@sobolev.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 18 мая 2016 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2016 г.

Исследованы фотолюминесцентные свойства (113) дефектов, образующихся в Si-структуре после имплантации ионов кислорода с энергией 350 keV и дозами 1.7·1013-1.7·1015 cm-2 и последующего отжига при 700oC в течение 0.5-2 h в хлорсодержащей атмосфере. Независимо от дозы имплантации и времени отжига в спектрах фотолюминесценции доминирует линия с длиной волны 1.37 mum, принадлежащая (113) дефекту. Зависимости интенсивности линии от дозы имплантации и длительности отжига характеризуются кривыми с максимумами. С ростом температуры измерения в диапазоне 64-120 K интенсивность линии монотонно уменьшается. Работа Н.А. Соболева и К.В. Карабешкина частично поддержана грантом РФФИ N 14-08-01256, а работа Е.И. Шек --- грантом РФФИ N 14-02-00152.
  1. M.A. Green, J. Zhao, A. Wang, P.J. Reece, M. Gal. Nature 412, 805 (2001)
  2. G. Davies. Phys. Rep. 176, 83 (1989)
  3. G. Franzo, F. Priolo, S. Coffa, A. Polman, A. Carnera. Appl. Phys. Lett. 64, 2235 (1994)
  4. A.M. Emel`yanov, N.A. Sobolev, A.N. Yakimenko. Appl. Phys. Lett. 72, 1223 (1998)
  5. V. Kveder, V. Badylevich, E. Steinman, A. Izotov, M. Zeibt, W. Schreter. Appl. Phys. Lett. 84, 2106 (2004)
  6. Н.А. Соболев, А.Е. Калядин, М.В. Коновалов, П.Н. Аруев, В.В. Забродский, Е.И. Шек, К.Ф. Штельмах, А.Н. Михайлов, Д.И. Тетельбаум. ФТП 50, 241 (2016)
  7. S. Takeda. Jpn. J. Appl. Phys. 30, L639 (1991)
  8. S. Coffa, S. Libertino, C. Spinella. Appl. Phys. Lett. 76, 321 (2000)
  9. P.K. Giri. Semicond. Sci. Technol. 20, 638 (2005)
  10. Y. Yang, C. Wang, R.D. Yang, L. Li, F. Xiong, J.M. Bao. Chin. Phys. B 18, 4906 (2009)
  11. Y. Yang, J.M. Bao, C. Wang, M.J. Aziz. J. Appl. Phys. 107, 123109 (2010)
  12. J.F. Ziegler, M.D. Ziegler, J.P. Biersack. Nucl. Instrum. Meth. B 268, 1818 (2010)
  13. J. Michel, J.L. Benton, R.F. Ferrante, D.C. Jacobson, D.J. Eaglesham, E.A. Fitzgerald, Y.-H. Xie, J.M. Poate, L.C. Kimerling. J. Appl. Phys. 70, 2672 (1991)
  14. E.O. Sveinbjornsson, J. Weber. Appl. Phys. Lett. 69, 2686 (1996)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.