Вышедшие номера
Влияние высокотемпературного отжига на ориентацию вектора униполярности в тонких пленках цирконата-титаната свинца
Канарейкин А.Г.1, Каптелов Е.Ю.1, Сенкевич С.В.1, Пронин И.П.1, Сергиенко А.Ю.2, Сергеева О.Н.3,4
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт управления образованием Российской академии образования, Санкт-Петербург, Россия
3Тверской государственный университет, Тверь, Россия
4Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
Email: Petrovich@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 11 мая 2016 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2016 г.

Рассматриваются причины изменения ориентации вектора естественной униполярности в результате нагревания до температуры Кюри тонкопленочного конденсатора Pt/PZT/Pt (PZT --- цирконат-титанат свинца), сформированного на подложке TiO2/SiO2/Si. Тонкие слои PZT, содержащие незначительный избыток оксида свинца, сформированы ex situ методом высокочастотного магнетронного распыления при вариации температуры отжига (кристаллизации фазы перовскита) в диапазоне 580-650oC. Предполагается, что реориентация вектора униполярности в слое PZT вызвана сменой механизма кристаллизации фазы перовскита с ростом температуры отжига. Работа выполнена при частичной финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ (грант 14.Z50.31.0034) и гранта РФФИ N 16-02-00632.
  1. K. Ijima, R. Takayama, Y. Tomita, I. Ueda. J. Appl. Phys. 60, 2914 (1986)
  2. E. Sviridov, I. Sem, V. Alyoshin, S. Biryukov, V. Dudkevich. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 361, 141 (1995)
  3. G.A.C.M. Spierings, G.J.M. Dormans, W.G.J. Moors, M.J.E. Ulenaers, P.K. Larsen. J. Appl. Phys. 78, 1926 (1995)
  4. K. Abe, S. Komatsu, N. Yanase, K. Sano, T. Kamakubo. Jpn. J. Appl. Phys. 36 (Pt 1), 9B, 5846 (1997)
  5. E.G. Lee, J.S. Park, J.K. Lee, J.G. Lee. Thin Solid Films 310, 327 (1997)
  6. A.L. Kholkin, K.G. Brooks, D.V. Taylor, S. Hiboux, N. Setter. Integr. Ferroelectrics 22, 525 (1998)
  7. M. Kobune, H. Ishito, A. Mineshige, S. Fujii, R. Takayama, A. Tomozawa. Jpn. J. Appl. Phys. 37 (Pt 1), 9B, 5154 (1998)
  8. R. Bruchhaus, D. Pitzer, M. Schreiter, W. Wersing. J. Electroceram. 3, 151 (1999)
  9. S. Okamura, S. Miyata, Y. Mizutani, T. Nishida, T. Shiosaki. Jpn. J. Appl. Phys. 38 (Pt 1), 9B, 5364 (1999)
  10. H. Fujusawa, S. Nakashima, K. Kaibara, M. Shimizu, H. Niu. Jpn. J. Appl. Phys. 38 (Pt 1), 9B, 5392 (1999)
  11. S. Hiboux, P. Muralt. Integr. Ferroelectrics 36, 83 (2001)
  12. И.П. Пронин, Е.Ю. Каптелов, Е.А. Тараканов, В.П. Афанасьев. ФТТ 44, 1659 (2002)
  13. G. Suchaneck, T. Sandner, A. Deineka, G. Gerlach, L. Jastrabik. Ferroelectrics 289, 309 (2004)
  14. V.V. Shvartsman, A.V. Pankrashkin, V.P. Afanasjev, E.Yu. Kaptelov, I.P. Pronin, A.L. Kholkin. Integr. Ferroelectrics 69, 103 (2005)
  15. А.А. Богомолов, О.Н. Сергеева, Д.А. Киселев, Е.Ю. Каптелов, И.П. Пронин. Письма в ЖТФ 31, 11, 42 (2005)
  16. Z.J. Wang, H. Kokawa, H. Takizawa, M. Ichiki, R. Maeda. Appl. Phys. Lett. 86, 212903 (2005)
  17. В.П. Афанасьев, И.П. Пронин, А.Л. Холкин. ФТТ 48, 1143 (2006)
  18. B.E. Watts. Proc. Appl. Ceram. 3, 1--2, 97 (2009)
  19. E.C. Lima, E.B. Araujo, I.K. Bdikin, A.L. Kholkin. Mater. Res. Bull. 47, 3548 (2012)
  20. X.-Y. Li, L. Chang, W.-X. Gao, G.-L. Yuan, J. Yin, Z.-G. Liu. AIP Adv. 3, 122101 (2013)
  21. В.П. Пронин, С.В. Сенкевич, Е.Ю. Каптелов, И.П. Пронин. ФТТ 55, 92 (2013)
  22. J.-P. Chen, Y. Luo, Y. Ou, G.-L. Yuan, Y.-P. Wang, Y. Yang, J. Yin, G.-G. Liu. J. Appl. Phys. 113, 204105 (2013)
  23. E.C. Lima, E.B. Araujo, I.K. Bdikin, A.L. Kholkin. Ferroelectrics 465, 106 (2014)
  24. Б.М. Даринский, А.С. Сидоркин, Л.П. Нестеренко, А.А. Сидоркин. ФТТ 57, 536 (2015)
  25. В.В. Осипов, Д.А. Киселев, Е.Ю. Каптелов, С.В. Сенкевич, И.П. Пронин. ФТТ 57, 1748 (2015)
  26. F.T. Rogers, jr. J. Appl. Phys. 27, 1066 (1956)
  27. В.Г. Гавриляченко, В.П. Дудкевич, Е.Г. Фесенко. Кристаллография 13, 342 (1968)
  28. W. Eerenstein, N.D. Mathur, J.F. Scott. Nature 442, 759 (2006)
  29. N. Izyumskaya, Y.-I. Alivov, S.-J. Cho, H. Morkoc, H. Lee, Y.-S. Kang. Critical Rev. Solid State Mater. Sci. 32, 111 (2007)
  30. Э.В. Бурсиан, О.И. Зайковский, К.В. Макаров. Изв. АН СССР. Сер. физ. 33, 1098 (1969)
  31. A. Gruverman, B.J. Rodriguez, A.I. Kingon, R.J. Nemanich, A.K. Tagantsev, J.S. Cross, M. Tsukada. Appl. Phys. Lett. 83, 728 (2003)
  32. Основы технологии кремниевых интегральных схем. Т. I. Окисление, диффузия, эпитаксия / Под ред. Р. Бургера, Р. Донована. Мир, М. (1969). 451 с
  33. H. Watanabe, N. Yamada, M. Okaji. Int. J. Thermophys. 25, 1, 221 (2004)
  34. И.П. Пронин, Е.Ю. Каптелов, Н.Г. Хосина, В.П. Афанасьев. Письма в ЖТФ 30, 6, 70 (2004)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.