Издателям
Вышедшие номера
Влияние высокотемпературного отжига на ориентацию вектора униполярности в тонких пленках цирконата-титаната свинца
Канарейкин А.Г.1, Каптелов Е.Ю.1, Сенкевич С.В.1, Пронин И.П.1, Сергиенко А.Ю.2, Сергеева О.Н.3,4
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт управления образованием Российской академии образования, Санкт-Петербург, Россия
3Тверской государственный университет, Тверь, Россия
4Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
Email: Petrovich@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 11 мая 2016 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2016 г.

Рассматриваются причины изменения ориентации вектора естественной униполярности в результате нагревания до температуры Кюри тонкопленочного конденсатора Pt/PZT/Pt (PZT --- цирконат-титанат свинца), сформированного на подложке TiO2/SiO2/Si. Тонкие слои PZT, содержащие незначительный избыток оксида свинца, сформированы ex situ методом высокочастотного магнетронного распыления при вариации температуры отжига (кристаллизации фазы перовскита) в диапазоне 580-650oC. Предполагается, что реориентация вектора униполярности в слое PZT вызвана сменой механизма кристаллизации фазы перовскита с ростом температуры отжига. Работа выполнена при частичной финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ (грант 14.Z50.31.0034) и гранта РФФИ N 16-02-00632.
  • K. Ijima, R. Takayama, Y. Tomita, I. Ueda. J. Appl. Phys. 60, 2914 (1986)
  • E. Sviridov, I. Sem, V. Alyoshin, S. Biryukov, V. Dudkevich. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 361, 141 (1995)
  • G.A.C.M. Spierings, G.J.M. Dormans, W.G.J. Moors, M.J.E. Ulenaers, P.K. Larsen. J. Appl. Phys. 78, 1926 (1995)
  • K. Abe, S. Komatsu, N. Yanase, K. Sano, T. Kamakubo. Jpn. J. Appl. Phys. 36 (Pt 1), 9B, 5846 (1997)
  • E.G. Lee, J.S. Park, J.K. Lee, J.G. Lee. Thin Solid Films 310, 327 (1997)
  • A.L. Kholkin, K.G. Brooks, D.V. Taylor, S. Hiboux, N. Setter. Integr. Ferroelectrics 22, 525 (1998)
  • M. Kobune, H. Ishito, A. Mineshige, S. Fujii, R. Takayama, A. Tomozawa. Jpn. J. Appl. Phys. 37 (Pt 1), 9B, 5154 (1998)
  • R. Bruchhaus, D. Pitzer, M. Schreiter, W. Wersing. J. Electroceram. 3, 151 (1999)
  • S. Okamura, S. Miyata, Y. Mizutani, T. Nishida, T. Shiosaki. Jpn. J. Appl. Phys. 38 (Pt 1), 9B, 5364 (1999)
  • H. Fujusawa, S. Nakashima, K. Kaibara, M. Shimizu, H. Niu. Jpn. J. Appl. Phys. 38 (Pt 1), 9B, 5392 (1999)
  • S. Hiboux, P. Muralt. Integr. Ferroelectrics 36, 83 (2001)
  • И.П. Пронин, Е.Ю. Каптелов, Е.А. Тараканов, В.П. Афанасьев. ФТТ 44, 1659 (2002)
  • G. Suchaneck, T. Sandner, A. Deineka, G. Gerlach, L. Jastrabik. Ferroelectrics 289, 309 (2004)
  • V.V. Shvartsman, A.V. Pankrashkin, V.P. Afanasjev, E.Yu. Kaptelov, I.P. Pronin, A.L. Kholkin. Integr. Ferroelectrics 69, 103 (2005)
  • А.А. Богомолов, О.Н. Сергеева, Д.А. Киселев, Е.Ю. Каптелов, И.П. Пронин. Письма в ЖТФ 31, 11, 42 (2005)
  • Z.J. Wang, H. Kokawa, H. Takizawa, M. Ichiki, R. Maeda. Appl. Phys. Lett. 86, 212903 (2005)
  • В.П. Афанасьев, И.П. Пронин, А.Л. Холкин. ФТТ 48, 1143 (2006)
  • B.E. Watts. Proc. Appl. Ceram. 3, 1--2, 97 (2009)
  • E.C. Lima, E.B. Araujo, I.K. Bdikin, A.L. Kholkin. Mater. Res. Bull. 47, 3548 (2012)
  • X.-Y. Li, L. Chang, W.-X. Gao, G.-L. Yuan, J. Yin, Z.-G. Liu. AIP Adv. 3, 122101 (2013)
  • В.П. Пронин, С.В. Сенкевич, Е.Ю. Каптелов, И.П. Пронин. ФТТ 55, 92 (2013)
  • J.-P. Chen, Y. Luo, Y. Ou, G.-L. Yuan, Y.-P. Wang, Y. Yang, J. Yin, G.-G. Liu. J. Appl. Phys. 113, 204105 (2013)
  • E.C. Lima, E.B. Araujo, I.K. Bdikin, A.L. Kholkin. Ferroelectrics 465, 106 (2014)
  • Б.М. Даринский, А.С. Сидоркин, Л.П. Нестеренко, А.А. Сидоркин. ФТТ 57, 536 (2015)
  • В.В. Осипов, Д.А. Киселев, Е.Ю. Каптелов, С.В. Сенкевич, И.П. Пронин. ФТТ 57, 1748 (2015)
  • F.T. Rogers, jr. J. Appl. Phys. 27, 1066 (1956)
  • В.Г. Гавриляченко, В.П. Дудкевич, Е.Г. Фесенко. Кристаллография 13, 342 (1968)
  • W. Eerenstein, N.D. Mathur, J.F. Scott. Nature 442, 759 (2006)
  • N. Izyumskaya, Y.-I. Alivov, S.-J. Cho, H. Morkoc, H. Lee, Y.-S. Kang. Critical Rev. Solid State Mater. Sci. 32, 111 (2007)
  • Э.В. Бурсиан, О.И. Зайковский, К.В. Макаров. Изв. АН СССР. Сер. физ. 33, 1098 (1969)
  • A. Gruverman, B.J. Rodriguez, A.I. Kingon, R.J. Nemanich, A.K. Tagantsev, J.S. Cross, M. Tsukada. Appl. Phys. Lett. 83, 728 (2003)
  • Основы технологии кремниевых интегральных схем. Т. I. Окисление, диффузия, эпитаксия / Под ред. Р. Бургера, Р. Донована. Мир, М. (1969). 451 с
  • H. Watanabe, N. Yamada, M. Okaji. Int. J. Thermophys. 25, 1, 221 (2004)
  • И.П. Пронин, Е.Ю. Каптелов, Н.Г. Хосина, В.П. Афанасьев. Письма в ЖТФ 30, 6, 70 (2004)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.