Вышедшие номера
Влияние высокотемпературного отжига на ориентацию вектора униполярности в тонких пленках цирконата-титаната свинца
Канарейкин А.Г.1, Каптелов Е.Ю.1, Сенкевич С.В.1, Пронин И.П.1, Сергиенко А.Ю.2, Сергеева О.Н.3,4
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт управления образованием Российской академии образования, Санкт-Петербург, Россия
3Тверской государственный университет, Тверь, Россия
4Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
Email: Petrovich@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 11 мая 2016 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2016 г.

Рассматриваются причины изменения ориентации вектора естественной униполярности в результате нагревания до температуры Кюри тонкопленочного конденсатора Pt/PZT/Pt (PZT - цирконат-титанат свинца), сформированного на подложке TiO2/SiO2/Si. Тонкие слои PZT, содержащие незначительный избыток оксида свинца, сформированы ex situ методом высокочастотного магнетронного распыления при вариации температуры отжига (кристаллизации фазы перовскита) в диапазоне 580-650oC. Предполагается, что реориентация вектора униполярности в слое PZT вызвана сменой механизма кристаллизации фазы перовскита с ростом температуры отжига. Работа выполнена при частичной финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ (грант 14.Z50.31.0034) и гранта РФФИ N 16-02-00632.