Вышедшие номера
Home » Физика твердого тела » Год 2004, выпуск 8 » Статья стр. 1498
<<<>>>
Кинетика окисления тонких пленок титана, выращенных на поверхности вольфрама
Агеев В.Н.1, Афанасьева Е.Ю.1, Потехина Н.Д.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: afanaseva@ms.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 16 декабря 2003 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2004 г.
PDF версия
Методами термодесорбционной спектрометрии и оже-электронной спектроскопии исследован рост тонких пленок Ti на грани (100)W, а также кинетика их окисления. Механизм роста пленки Ti на грани (100)W при комнатной температуре близок к послойному. Энергия активации десорбции атомов Ti уменьшается от 5.2 eV при степени покрытия theta=0.1 до 4.9 eV в многослойной пленке. При окислении тонкой (theta=6) титановой пленки сначала наблюдается растворение в ее объеме атомов кислорода до предельной для данной температуры концентрации, затем пленка окисляется до TiO, при дальнейшей экспозиции в кислороде наблюдается рост окисла TiO2. При термодесорбции окислы испаряются с нулевым порядком кинетики десорбции и следующими энергиями активации десорбции: 5.1 eV (TiO) и 5.9 eV (TiO2). Работа выполнена в рамках Российской государственной программы "Поверхностные атомные структуры" (ГК N 1152) и при частичной поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант N 03-02-17523).
  1. A. Fujishima, K. Honda. Nature 37, 238 (1972)
  2. A.L. Lisebigler, G. Lu, J.T. Jates, Jr. Chem. Rev. 95, 735 (1995)
  3. D.M. Hanson, R. Stockbauer, T.E. Madey. Phys. Rev. B 24, 10, 5513 (1981)
  4. E. Bertel, R. Stockbauer, T.E. Madey. Surf. Sci. 141, 355 (1984)
  5. A. Takano, K. Ueda. Surf. Sci. 242, 450 (1991)
  6. C. Ocal, S. Ferrer. Surf. Sci. 178, 850 (1986)
  7. P.H. Dawson. Surf. Sci. 65, 41 (1977)
  8. D. Brugnian, C. Argile, M.G. Barthes-Labrousse, G.E. Read. Surf. Sci. 141, 639 (1984)
  9. A. Azouley, N. Shamir, E. Fromm, M.H. Mintz. Surf. Sci. 370, 1 (1997)
  10. G. Lu, S.L. Bernasek, J. Schwartz. Surf. Sci. 458, 80 (2000)
  11. W. Brearly, N.A. Surplice. Surf. Sci. 64, 372 (1977)
  12. A. Platau, L.I. Johansson, A.L. Hugstrom, S.E. Karlsson, S.B.M. Hagstrom. Surf. Sci. 63, 153 (1977)
  13. M. Martin, W. Mader, E. Fromm. Thin Solid Films 250, 61 (1994)
  14. I. Vaquila, M.C.G. Passeggi, Jr, J. Ferron. Phys. Rev. B 55, 20, 13 925 (1997)
  15. W.S. Oh, C. Xu, D.Y. Kim, D.W. Goodman. J. Vac. Sci. Technol. A15, 1710 (1997)
  16. O. Guo, W.S. Oh, D.W. Goodman. Surf. Sci. 437, 49 (1999)
  17. R.L. Strong, J.L. Erskine. J. Vac. Sci. Technol. A3, 1428 (1985)
  18. B.T. Jonker, J.F. Morar, R.L. Park. Phys. Rev. B 24, 6, 2951 (1981)
  19. S. Aduru, J.W. Rabalais. Langmuir 3, 543 (1987)
  20. D.E. Eastman. Solid State Commun. 10, 933 (1972)
  21. H.D. Shih, F. Jona. Appl. Phys. 12, 311 (1977)
  22. L. Porte, M. Demosthenous, T.M. Duc. J. Less Common Met. 56, 183 (1977)
  23. J.S. Corneille, J-W. He, D.W. Goodman. Surf. Sci. 338, 211 (1995)
  24. В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева. Поверхность 7, 30 (1987)
  25. В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева. ФТТ 39, 8, 1484 (1997)
  26. M.-Ch. Wu, J.S. Corneille, D.W. Goodman. Surf. Sci. Lett. 255, L536 (1991)
  27. В.П. Глушко, Л.В. Гуревич, Н.В. Вейц и др. Термодинамические свойства индивидуальных веществ. Справочник. Наука, М. (1978-1982)
  28. Е. Фромм, Е. Гебхардт. Газы и углерод в металлах. Металлургия, М. (1980)
  29. Я.И. Герасимов и др. Курс физической химии. Химия, М-Л. (1964)
  30. Е.К. Казенас, Ю.В. Цветков. Испарение оксидов. Наука, М. (1997)
  31. В.Н. Агеев, Н.И. Ионов. ЖТФ 38, 7, 1149 (1968)
  32. Н.П. Васько, Ю.Г. Птушинский. УФЖ 13, 347 (1968)
  33. В.Н. Агеев. ЖТФ 40, 8, 1743 (1970)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme