Газовыделение при термообработке пленок Pb(Ti0.48Zr0.52)Ox, полученных распылением
Знаменский А.Г.
1, Ионов А.М.
2, Марченко В.А.
11Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
2Институт физики твердого тела РАН, Черноголовка, Россия
Email: andrew@iptm.ru, ionov@issp.ac.ru, marchenk@iptm.ru
Поступила в редакцию: 21 июля 2015 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2016 г.
Методами термодесорбции, электронной и оптической микроскопии выявлены условия (режимы осаждения и термообработки) образования газовых пузырьков в сегнетоэлектрических пленках Pb(Ti1-yZry)O3. Предложен механизм образования пузырьков, заключающийся в том, что при относительно низких температурах свинец способен образовывать оксиды с большим содержанием кислорода (типа PbO2), распадающиеся с выделением кислорода до низшего оксида типа PbO при последующем нагреве. Развитые представления позволили разработать методику изготовления пленок Pb(Ti1-yZry)O3 со сниженной на порядок плотностью сквозных дефектов.
- В.П. Пронин, С.В. Сенкевич, Е.Ю. Каптелов, И.П. Пронин. ФТТ 55, 92 (2013)
- M. Natali, D. Garoli, V. Rigato, F. Romanato. LNL Annual Report: Applied, General and Interdisciplinary Physics (2010). P. 95
- И.Ю. Тентилова, С.А. Кукушкин, Е.Ю. Каптелов, И.П. Пронин, В.Л. Уголков. Письма в ЖТФ 37, 4, 37 (2011)
- Б. Шерцер. В сб.: Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериша. Мир, М. (1986). С. 360
- W.W.Y. Lee, D. Oblas. J. Appl. Phys. 46, 1728 (1975)
- В.Г. Бешенков, А.Г. Знаменский, В.А. Марченко. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования 9, 67 (2010)
- В.Г. Бешенков, А.Г. Знаменский, В.А. Марченко. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования 11, 3 (2012)
- В.Г. Бешенков, А.А. Бурлаков, А.Г. Знаменский, В.А. Марченко. Письма в ЖТФ 40, 15, 30 (2014)
- D. Edwards, jr. J. Appl. Phys. 46, 1437 (1975)
- J.F. Ziegler, J.P. Biersack, V. Littmark. The stopping and range of ions in solids. Pergamon, New York (1985). 321 p
- R.E. Somekh. J. Vac. Sci. Technol. A 2, 1285 (1984)
- G.I. Grigorov, I.N. Martev. Thin Solid Films 156, 356 (1988)
- Л.Н. Розанов. Вакуумная техника. Высшая шк., М. (1990). 320 с
- Физико-химические свойства окислов. Cправочник. Металлургия, М. (1978). 472 c
- K. Korniyenko. In: Landolt-Bornstein. Group IV. V 11D5: Ternary alloy systems / Eds G. Effenberg, S. Ilyenko. Springer, Berlin-Heidelberg (2009). P. 369
- В.А. Извозчиков, О.А. Тимофеев. Фотопроводящие оксиды свинца в электронике. Энергия, Л. (1979). 144 с
- И.П. Пронин, Е.Ю. Каптелов, С.В. Сенкевич, В.А. Климов, Н.В. Зайцева, Т.А. Шаплыгина, В.П. Пронин, С.А. Кукушкин. ФТТ 52, 124 (2010)
- J.v Sestak, V. v Satana, W.W. Wendlandt. Thermochim. Acta 7, 333 (1973)
- W.W. Brandt. Int. J. Heat Mass Transfer. 13, 1559 (1970)
- F. Ayguavives, B. Agius, B. Ea-Kim, I. Vickridge. J. Mater. Res. 16, 3005 (2001)
- С.А. Кукушкин, И.Ю. Тентилова, И.П. Пронин. ФТТ 54, 571 (2012)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
