Вышедшие номера
Межатомные взаимодействия на интерфейсах многослойных наноструктур (Co45Fe45Zr10/a-Si)40 и (Co45Fe45Zr10/SiO2)32
Минобрнауки России, Государственное задание ВУЗам в сфере научной деятельности на 2014-2016 годы, Проект № 757
Минобрнауки России, Государственное задание ВУЗам в сфере научной деятельности на 2014-2016 годы, Задание № 3.1868.2014/K
Домашевская Э.П.1, Терехов В.А.1, Турищев С.Ю.1, Спирин Д.Е.1, Чернышев А.В.1, Калинин Ю.Е.1, Ситников А.В.2
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
2Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия
Email: ftt@phys.vsu.ru, tsu@phys.vsu.ru, kalinin48@mail.ru
Поступила в редакцию: 23 июня 2015 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2016 г.

Исследованы межатомное взаимодействие и фазообразования на интерфейсах между металлическими слоями Co45Fe45Zr10 и неметаллическими прослойками из аморфного кремния или диоксида кремния в многослойных наноструктурах (МНС) (Co45Fe45Zr10/a-Si)40 и (Co45Fe45Zr10/Si2)32 методами ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии (УМРЭС) и дифрактометрии. МНС были получены с помощью ионно-лучевого напыления из двух мишеней на поверхность вращающейся ситалловой подложки. Исследования показывают, что независимо от ожидаемого состава прослойки (аморфный кремний или диоксид кремния), на интерфейсах металлический слой/прослойка образуются силициды d-металлов, преимущественно низших силицидов кобальта. Однако при этом толщина силицидных интерфейсов в МНС с оксидными прослойками (серия O) оказывается существенно меньшей и составляет ~0.1 nm, и поэтому центральный слой прослоек остается оксидным. В МНС с прослойками из аморфного кремния практически весь кремний расходуется на образование немагнитных силицидных фаз. И когда толщина такой прослойки превосходит толщину металлического слоя, МНС становятся немагнитными. Работа выполнена при поддержке Минобрнауки РФ в рамках государственного задания вузам в сфере научной деятельности на 2014-2016 гг. Проект N 757 и задание N 3.1868.2014/K.