Вышедшие номера
Генерация мелких азотно-кислородных доноров как метод исследования диффузии азота в кремнии
Воронков В.В.1, Батунина А.В.1, Воронкова Г.И.1, Мильвидский М.Г.2
1Научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет", Москва, Россия
2Институт химических проблем микроэлектроники, Москва, Россия
Email: icpm@mail.girmet.ru
Поступила в редакцию: 25 ноября 2003 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2004 г.

Распределение концентрации азота C(z) после диффузии из объема образца на поверхность можно выявить с высокой точностью с помощью последующей термообработки в области средних температур (например, 650oC). Образующиеся при этом мелкие термодоноры - азотно-кислородные комплексы - имеют распределение по глубине в соответствии с профилем C(z) и позволяют вычислить этот профиль. Данный метод применен для выявления зависимости C(z) после диффузионного отжига при 950, 1000 и 1050oC. В присутствии высокой концентрации кислорода транспорт азота упрощается благодаря ускоренной диссоциации азотных димеров. С другой стороны, он несколько осложняется вследствие частичного окисления азотных мономеров. Полученные данные свидетельствуют о том, что последний эффект не является слишком сильным: димерная форма азота преобладает, диффузионный профиль контролируется комбинацией D1K1/2, где D1 - коэффициент диффузии мономерного азота, а K - константа диссоциации. Работа поддержана Российским фондом фундаментальных исследований (грант N 02-02-16053A).
  1. V.V. Voronkov, R. Falster. Proc. of the GADEST (2003)
  2. M. Suezawa, K. Sumino, H. Harada, T. Abe. Jpn. J. Appl. Phys. (Pt 1) 25, L859 (1986)
  3. D. Yang, R. Fan, L. Li, D. Que, K. Sumino. Appl. Phys. Lett. 68, 487 (1996)
  4. A. Hara, M. Aoki, M. Koizuka, T. Fukuda. J. Appl. Phys. 75, 2929 (1994)
  5. V.V. Voronkov, M. Porrini, P. Collareta, M.G. Pretto, R. Scala, R. Falster, G.I. Voronkova, A.V. Batunina, V.N. Golovina, L.V. Arapkina, A.S. Guliaeva, M.G. Milvidski. J. Appl. Phys. 89, 4289 (2001)
  6. В.В. Воронков, А.В. Батунина, Г.И. Воронкова, В.Н. Головина, Л.В. Арапкина, Н.Б. Тюрина, А.С. Гуляева, М.Г. Мильвидский. ФТТ 44, 700 (2002)
  7. Y. Yatsurugi, N. Akijama, Y. Endo, T. Nozaki. J. Electrochem. Soc. 120, 975 (1973)
  8. T. Itoh, T. Abe. Appl. Phys. Lett 53, 39 (1988)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.