Физика твердого тела
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Морфологическая неустойчивость поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ ионно-физическом травлении
1Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия 
Email: pirpc@yandex.ru
Поступила в редакцию: 2 июня 2015 г.
Выставление онлайн: 20 января 2016 г.
Изложены результаты исследований динамики релаксационной модификации морфологических характеристик атомно-чистых поверхностей кристаллов кремния (100) различных типов проводимости после СВЧ ионно-физического травления в среде аргона. Впервые экспериментально показано и дано физико-химическое обоснование механизма влияния электронных свойств на морфологические характеристики и свободную энергию поверхности кристаллов кремния. Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки Российской Федерации.
- К. Оура, В.Г. Лифшиц, А.А. Саранин, А.В. Зотов, М. Катаяма. Введение в физику поверхности. Наука, М. (2006). 490 с
- В. Я. Шаныгин, Р.К. Яфаров. ФТП 47, 4, 447 (2013)
- Технология СБИС / Под ред. С. Зи. Пер. с англ. Мир, М. (1986). Кн. 1. 404 с
- Р.К. Яфаров, С.А. Климова. Микроэлектроника 43, 3, 305 (2014)
- Р.К. Яфаров. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий. Физматлит, М. (2009). 216 с
- С.И. Матюхин, К.Ю. Фроленков. Конденсированные среды и межфазные границы 5, 2, 216 (2003)
- Н.Н. Леденцов, В.М. Устинов, В.А. Щукин, П.С. Копьев, Ж.И. Алферов, Д. Бимберг. ФТП 32, 4, 385 (1998)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
