Вышедшие номера
Влияние давления кислорода на текстуру пленки магнетита, выращенного методом реактивного осаждения на поверхности SiO2/Si(001)
Балашев В.В.1,2, Викулов В.А.1, Писаренко Т.А.1,2, Коробцов В.В.1,2
1Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН, Владивосток, Россия
2Школа eстественных наук Дальневосточного федерального университета, Владивосток, Россия
Email: balashev@mail.dvo.ru
Поступила в редакцию: 2 июня 2015 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2015 г.

Методом реактивного осаждения Fe в атмосфере кислорода на окисленной поверхности подложки кремния Si(001) выращены пленки магнетита (Fe3O4) толщиной 75 nm. Рост пленок оксида железа проводился при разных значениях давления O2. Структура пленок контролировалась в процессе их роста методом дифракции быстрых электронов на отражение. Установлено, что только в определенном диапазоне давлений O2 наблюдается рост пленок магнетита с текстурой. Уменьшение давления кислорода приводит к росту пленки Fe3O4 без текстуры, тогда как реактивное осаждение при значениях давления выше верхней границы указанного диапазона приводит к формированию кристаллитов гематита (alpha-Fe2O3) в пленке Fe3O4.
  1. Z. Zhang, S. Satpathy. Phys. Rev. B 44, 13 319 (1991)
  2. S. Tiwari, R. Prakash, R.J. Choudhary, D.M. Phase. J. Phys. D 40, 4943 (2007)
  3. M.L. Parames, J. Mariano, Z. Viskadourakis, N. Popovici, M.S. Rogalski, J. Giapintzakis, O. Conde. Appl. Surf. Sci. 252, 4610 (2006)
  4. C. Boothman, A.M. Sanchez, S. van Dijken. J. Appl. Phys. 101, 123 903 (2007)
  5. C. Park, Y. Peng, J-G. Zhu, D.E. Laughlin, R.M. White. J. Appl. Phys. 97, 10C303 (2005)
  6. X. Wang, Y. Sui, J. Tang, C. Wang, X. Zhang, Z. Lu, Z. Liu, W. Su, X. Wei, R. Yu. Appl. Phys. Lett. 92, 012 122 (2008)
  7. Z.L. Lu, M.X. Xu, M.Q. Zou, S. Wang, X.C. Liu, Y.B. Lin, J.P. Xu, Z.H. Lu, J.F. Wang, L.Y. Lv, F.M. Zhang, Y.W. Du. Appl. Phys. Lett. 91, 102 508 (2007)
  8. W.B. Mi, Hui Liu, Z.Q. Li, P. Wu, E.Y. Jiang, H.L. Bai. J. Phys. D: Appl.Phys. 39, 5109 (2006)
  9. Y. Kim, M. Oliveria. J. Appl. Phys. 75, 431 (1994)
  10. G. Zhang, C. Fan, L. Pan, F. Wang, P. Wu, H. Qiu, Y. Gu, Y. Zhang. J. Magn. Magn. Mater. 293, 737 (2005)
  11. В.В. Балашев, В.В. Коробцов, Т.А. Писаренко, Л.А. Чеботкевич. ЖТФ 81, 10, 122 (2011)
  12. В.А. Викулов, В.В. Балашев, Т.А. Писаренко, А.А. Димитриев, В.В. Коробцов. Письма в ЖТФ 38, 7, 73 (2012)
  13. E.J.W. Verwey, E.L. Heilmann. J. Chem. Phys. 15, 174 (1947)
  14. R.M. Cornell, U. Schwertmann. The iron oxides: structure, properties, reactions, occurrences and uses. Wiley-VCH, Weomjeim, N.Y. (1996). P. 34
  15. Y. Bando, S. Horio, T. Takada. Jap. J. Appl. Phys. 17, 1037 (1978)
  16. F. Tang, T. Parker, G.-C. Wang, T.-M. Lu. J. Phys. D 40, 427 (2007)
  17. T.A. Pisarenko, V.V. Korobtsov, V.A. Vikulov, A.A. Dimitriev, V.V. Balashev. Solid State Phenomena 213, 51 (2014)
  18. M.-F.Al-Kuhaili, M. Saleem, S.M.A. Durrani. J. Alloys Compd. 521, 178 (2012)
  19. C. Ortiz, G. Lim, M.M. Chen, G. Castillo. J. Mater. Res. 3, 344 (1988)
  20. I. Petrov, P.B. Barna, L. Hultman, J.E. Greene. J. Vac. Sci. Technol. A 21, 117 (2003)
  21. P.B. Barna, M. Adamik. In: Science and technology of thin films / Eds F.C. Matacotta, G. Ottaviani. World Scientific, Singapore. (1995). Pt. 1. P. 1-29
  22. X. Huang, J. Ding. J. Korean Phys. Soc. 62, 2228 (2013)
  23. D. Yokoyama, K. Namiki, H. Fukasawa, J. Miyazaki, K. Nomura, Y. Yamada. J. Radioanal. Nucl. Chem. 272, 631 (2007)
  24. J. Hrbek. Thin Solid Films 42, 185 (1977)
  25. K. Hammoum, T.El Asri, A. Chahboune, H. Aouchiche, A. Kaddouri. Eur. Phys. J. D 61, 469 (2011)
  26. S.M. Watts, K. Nakajima, S. van Dijken, J.M.D. Coey. J. Appl. Phys. 95, 7465 (2004)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.