Вышедшие номера
Электролюминесценция в слоях SiO2 в различных структурах
Барабан А.П.1, Коноров П.П.1, Милоглядова Л.В.1, Трошихин А.Г.1
1Научно-исследовательский институт физики им. В.А. Фока Санкт-Петербургского государственного университета, Санкт-Петербург, Петергоф, Россия
Email: laramil@rabler.ru
Поступила в редакцию: 30 июня 2003 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2004 г.

Методом электролюминесценции (ЭЛ) в системе электролит-диэлектрик-полупроводник исследовались окисные слои структур Si-SiO2-Si3N4 и Si-SiO2, полученных различными способами. Спектры ЭЛ всех структур содержали полосу излучения 2.7 eV, характерную для излучательной релаксации возбужденных силиленовых центров. Проведено сравнительное исследование условий возникновения таких центров свечения в различных структурах, содержащих слои SiO2, и уточнена их природа. Работа поддержана КЦФЕ МО РФ (грант N PD02-1.2-356).
  1. А.П. Барабан, В.В. Булавинов, П.П. Коноров. Электроника слоев SiO2 на кремнии. Изд-во ЛГУ, Л. (1988). 304 с
  2. А.П. Барабан, П.П. Коноров, А.А. Кручинин, Ю.А. Тарантов. Электрохимия 20, 4, 539 (1984)
  3. А.П. Барабан, И.В. Климов, Н.И. Теношвили, Э.Д. Усеинов, В.В. Булавинов. Письма в ЖТФ 15, 17, 44 (1989)
  4. А.П. Барабан, Л.В. Милоглядова. ЖТФ 72, 5, 56 (2002)
  5. А.П. Барабан, Д.В. Егоров, А.Ю. Аскинази, Л.В. Милоглядова. Письма в ЖТФ 28, 23, 14 (2002)
  6. А.П. Барабан, П.П. Коноров, Л.В. Малявка, А.Г. Трошихин. ЖТФ 70, 8, 87 (2000)
  7. P. Solomon, N. Klein. J. Appl. Phys. 47, 3, 1023 (1976)
  8. D.J.Di Maria, J.R. Kirtley, E.J. Pakulis. J. Appl. Phys. 56, 2, 401 (1984)
  9. T.N. Theis, J.R. Kirtley, D.J.Di Maria. Phys. Rev. Lett. 50, 10, 750 (1983)
  10. A.J. Pepe, W. Chen, M. Oyler. J. Electrochem. Soc. 140, 4, 1090 (1993)
  11. A. Gee. J. Electrochem. Soc. 107, 9, 787 (1960)
  12. С.П. Маминова, Л.Л. Одынец. Электрохимия 1, 3, 365 (1965)
  13. Л.Н. Скуя, А.Н. Стрелецкий, А.Б. Пакович. ФХС 14, 481 (1988)
  14. A.P. Baraban, E.A. Semykina, M.B. Vaniouchov. Semicond. Sci. Technol. 15, 546 (2000)
  15. A.P. Baraban, E.A. Semykina, M.B. Vaniouchov. Phys. Low.-Dim. Struct. 3/4, 27 (2000)
  16. V.V. Afanas'ev, A. Stesmans, A.G. Revesz. J. Appl. Phys. 82, 5, 2184 (1997)
  17. B. Garido, J. Samitier, S. Bota. J. Non-Crist. Sol. 187, 101 (1995)
  18. Е.А. Семыкина, Т.Е. Никулина. Тез. докл. Междунар. конф. "Диэлектрики-97". СПб (1997). Ч. 2. С. 70
  19. А.П. Барабан, И.В. Климов, П.П. Коноров. Вестн. ЛГУ (Сер. 4) 4, 25, 71 (1988)
  20. В.А. Гриценко. Строение и электронная структура аморфных диэлектриков в кремниевых МДП структурах. Наука, Новосибирск (1993). 280 с
  21. D.J.Di Maria, Y.R. Abernathey. J. Appl. Phys. 60, 5, 1727 (1985)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.