Вышедшие номера
Топология анодно сформированной окисной пленки на монокристалле кремния
Орлов А.М.1, Явтушенко И.О.1, Махмуд-Ахунов М.Ю.1
1Ульяновский государственный университет, Ульяновск, Россия
Email: yavigor@mail.ru
Поступила в редакцию: 15 декабря 2014 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2015 г.

Представлены результаты исследований морфологических свойств окисной пленки, полученной на монокристаллическом кремнии анодным окислением в дистиллированной воде в потенциостатическом режиме. Установлено, что оксидная пленка независимо от значения прикладываемого потенциала и времени анодной обработки всегда формируется в виде отдельных островков, форма которых зависит от ориентации подложки. Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (грант N 13-02-97051 р_поволжье_а), а также Министерства образования и науки РФ.