Вышедшие номера
Структура и свойства нанокомпозитных пленок Nb-Al-N
Иващенко В.И.1, Погребняк А.Д.2, Соболь О.В.3, Скрынский П.Л.1, Рогоз В.Н.2, Мейлехов А.А.3, Дуб С.Н.4, Купчишин А.И.5
1Институт проблем материаловедения им. И.Н. Францевича Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
2Сумский государственный университет, Сумы, Украина
3Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт", Харьков, Украина
4Институт сверхтвердых материалов им. В. Бакуля НАН Украины, Киев, Украина
5Казахский национальный педагогический университет им. Абая, Алматы, Казахстан
Email: alexp@i.ua
Поступила в редакцию: 27 января 2015 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2015 г.

Исследованы нанокомпозитные пленки Nb-Al-N, полученные с помощью магнетронного распыления. В пленках обнаружены два устойчивых кристаллических структурных состояния: NbNz и твердый раствор B1-Nb1-xAlxNyO1-y, а также аморфноподобная составляющая, связанная с оксинитридом алюминия при реактивном магнетронном распылении. Установлены чувствительность субструктурных характеристик к току, подаваемому на Al-мишень, и их связь с характеристикой нанотвердости и твердости по Кнупу. Последние изменяются в диапазонах 29-33.5 и 46-48 GPa соответственно. Для интерпретации полученных результатов впервые проведены ab initio расчеты фаз NbNz и Nb2AlN, а также гетероструктур NbN/AlN. Работа выполнена в рамках комплексных государственных программ "Разработка основ формирования сверхтвердых наноструктурных покрытий с высокими физико-механическими свойствами" (N 0112u001382) и "Физические принципы плазменных технологий для комплексной обработки многокомпонентных материалов и покрытий" (N 0113u000137c).