Издателям
Вышедшие номера
Исследование двулучепреломления в слоях пористого кремния методом инфракрасной Фурье-спектроскопии
Кузнецова Л.П.1, Ефимова А.И.1, Осминкина Л.А.1, Головань Л.А.1, Тимошенко В.Ю.1, Кашкаров П.К.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: kuzl@vega.phys.msu.su
Поступила в редакцию: 28 июня 2001 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2002 г.

Методом инфракрасной Фурье-спектроскопии исследуется двулучепреломление в слоях пористого кремния, приготовленных при различных токах травления на подложке с ориентацией поверхности (110). В полученных спектрах наблюдаются биения для интенсивности прошедшего и отраженного излучения, возникающие вследствие сложения интенсивностей обыкновенной и необыкновенной волн, интерферирующих в пористом слое. Анализ спектров показывает, что исследуемые слои проявляют свойства отрицательного односного кристалла, оптическая ось которого лежит в плоскости слоя. Для слоев с пористостью 80% величина разности показателей преломления обыкновенной и необыкновенной волн достигает 18%. Экспериментальные результаты хорошо согласуются с расчетами на основе модели эффективной среды, учитывающей анизотропию расположения кремниевых нанокристаллов в пористом слое. Работа поддержана программой "Полупроводниковые наноструктуры" Министерства промышленности, науки и технологии РФ и грантом CRDF N RP2-2275.
  • C. Pickering, M.I.J. Beale, D.J. Robbins, P.J. Pearson, R. Greef. J. Phys. C17, 6535 (1984)
  • A.G. Cullis, L.T. Canham, P.D.J. Calcott. J. Appl. Phys. 82, 909 (1997)
  • W. Theib. Surf. Sci. Rep. 29, 91 (1997)
  • D. Kovalev, H. Heckler, G. Polisski, F. Koch. Phys. Stat. Sol. (b) 215, 817 (1999)
  • М.Е. Компан, Я. Салонен, И.Ю. Шабанов. ЖЭТФ 117, 2, 368 (2000)
  • О.Г. Сарбей, Е.К. Фролова, Р.Д. Федорович, Д.Б. Данько. ФТТ 42, 7, 1205 (2000)
  • D. Kovalev, G. Polisski, J. Diener, H. Heckler, N. Kunzner, V.Yu. Timoshenko, F. Koch. Appl. Phys. Lett. 78, 916 (2001)
  • A.V. Ghiner, G.I. Surdurovich. Braz. J. Phys. 24, 344 (1994)
  • М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики. Наука, М. (1970)
  • Ф. Цернике, Дж. Миндвинтер. Прикладная нелинейная оптика. Мир, М. (1976)
  • Таблицы физических величин / Под ред. акад. И.К. Кикоина. Атомиздат, М. (1976).
  • D.A.G. Bruggeman. Annalen der Physik 24, 636 (1935)
  • C.D. Salzberg. J. Opt. Soc. Am. 47, 244 (1957)
  • L.A. Golovan, V.Yu. Timoshenko, A.B. Fedotov, L.P. Kuznetsova, D.A. Sidorov-Biryukov, P.K. Kashkarov, A.M. Zheltikov, D. Kovalev, N. Kunzner, E. Gross, J. Diener, G. Polisski, F. Koch. Appl. Phys. B73, 31 (2001)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.