Издателям
Вышедшие номера
Сегнетоэлектрические пленки титаната свинца на монокристаллическом кремнии
Сидоркин А.С.1, Сигов А.С.2, Ховив А.М.1, Яценко О.Б.1, Логачева В.А.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
2Московский институт радиотехники, электроники и автоматики, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 14 мая 2001 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2002 г.

Изучены фазовые превращения, происходящие в тонкопленочных структурах Pb/Ti/Si и Ti/Pb/Si при послойном магнетронном напылении свинца и титана на подложку монокристаллического кремния и последующем отжиге в атмосфере кислорода. Показано, что диэлектрические свойства пленок зависят от последовательности напыления указанных металлических слоев. Сегнетоэлектрическими свойствами обладали пленки толщиной порядка 3000 nm, полученные в процессе двухступенчатого отжига при T1=473 K и T2=973 K в течение 10 min тонкопленочной гетероструктуры Pb/Ti/Si с внешним слоем свинца. Значения коэрцитивного поля и спонтанной поляризации для такой пленки составляли Ec=4.8 kV/cm, Ps=16.8 muC/cm2. Пленки, полученные в результате отжига тонкопленочной гетероструктуры Ti/Pb/Si с внешним слоем титана, проявляли свойства типичного диэлектрика и не обладали сегнетоэлектрическими свойствами. Работа выполнена при поддержке гранта Нидерландской организации по научным исследованиям (NWO) "Nonlinear dielectric films for nanotechnology" и гранта Российского фонда фундаментальных исследований N 01-02-16828.
  • X. Meng, Z. Huang, H. Ye, J. Cheng, P. Yang, J. Chu. Mater. Res. Soc. Symp. 541, 723 (1999)
  • A. Okada. J. Appl. Phys., 48, 7, 2905 (1997)
  • T.L. Ren, L.T. Zhang, L.T. Liu, Z.J. Li. J. Phys. D: Appl. Phys. 33, 15, L77 (2000)
  • C. Byun, J.W. Jang, Y.J. Cho, K.J. Lee, B.W. Lee. Thin Solid Films 324, 94 (1998)
  • A. li, D. Wu, C.Z. Ge, H. Wang, Min Wang, Mu Wan, Z. Liu, N. Ming. Thin Solid Films 375, 220 (2000)
  • Y.S. Yoon, S.S. Yom, T.W. Kim, D.U. Lee, C.D. Kim. Appl. Surf. Sci. 93, 285 (1996)
  • А.С. Сидоркин, А.С. Сигов, А.М. Ховив, С.О. Яценко, О.Б. Яценко. ФТТ 42, 4, 727 (2000)
  • Ш. Мьюрарка. Силициды для СБИС. Мир, М.: (1986). 176 с
  • П.А. Щеглов, С.А. Меньших, Л.Ф. Рыбакова, Ю.Я. Тамашпольский. Неорган. материалы 36, 4, 470 (2000)
  • F.M. Pontes, J.H.G. Rangel, E.R. Leite, E. Longo, J.A. Varela, E.B. Araujo, J.A. Eiras. Thin solid Films 366, 232 (2000)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.