Вышедшие номера
Расчет теплового воздействия электронного зонда на образец нитрида галлия
Бакалейников Л.А.1, Галактионов Е.В.1, Третьяков В.В.1, Тропп Э.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: bakal@ammp.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 3 августа 2000 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2001 г.

Исследованы стационарные температурные поля, возникающие при взаимодействии электронного зонда с образцом GaN. Для расчета плотности генерации тепла проведено моделирование процесса потери энергии электронами по методу Монте-Карло. Предложена аппроксимация формы области генерации тепла полуэллипсоидом. Для случая равномерной генерации тепла в объеме эллипсоида получено аналитическое решение задачи теплопроводности в элементарных функциях. Показано, что влияние формы области генерации на максимальную температуру перегрева и распределение поля температур мало. Аппроксимация плотности тепловых источников однородным распределением в полусфере с радиусом, равным полному пробегу электронов, приводит к значительной недооценке максимальной температуры перегрева. Предложено выражение для выбора характерного размера области генерации тепла в GaN, обеспечивающее 3% точность определения максимальной температуры перегрева в широком диапазоне энергий электронного пучка. Работа выполнена при частичной поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант N 98-02-18109).
  1. R Castaing. Adv. in Electronics and Electron Physics. Acad. Press, N. Y. (1960). V. 13, P. 317
  2. G.S. Almasi, J. Blair, R.E. Ogilvie, R.J. Schwartz. J. Appl. Phys. 36, 6, 1848 (1965)
  3. C.F. Friskney, C.W. Haworth. J. Appl. Phys. 38, 9, 3796 (1967)
  4. H. Amano, M. Kito, K. Hiromatsu, I. Akasaki. Jpn. J. Appl. Phys. 28, 12, L2112 (1989)
  5. С.К. Обыден, Г.А. Перловский, Г.В. Сапарин, С.И. Попов. Изв. АН СССР. Сер. физ. 48, 12, 2374 (1984)
  6. И.Г. Стоянова, Е.М. Белавцева. Изв. АН СССР. Сер. физ. 23, 6, 754 (1959)
  7. И.Г. Стоянова, И.В. Анаскин. Физические основы методов просвечивающей электронной микроскопии. Наука, М. (1972)
  8. В.Н. Королюк, Ю.Г. Лаврентьев. В кн.: Рентгеновский микроанализ с электронным зондом в минералогии. Наука, Л. (1980). С. 7
  9. М.Н. Филиппов. Изв. РАН. Сер. физ. 57, 8, 165 (1993)
  10. T.E. Everhart, P.H. Hoff. J. Appl. Phys. 42, 13, 5837 (1971)
  11. Электронная база данных http://www.ioffe.rssi.ru/ES
  12. T. Rao-Sahib, D.B. Wittry. J. Appl. Phys. 45, 11, 5060 (1974)
  13. H.-J. Fitting, H. Glaefeke, W. Wild. Phys. Stat. Sol. (a) 43, 1, 185 (1977)
  14. С.Г. Конников, В.А. Соловьев, В.Е. Уманский, В.М. Чистяков. ФТП 21, 11, 2028 (1987)
  15. Н.Н. Лебедев, И.П. Скальская, Я.С. Уфлянд. Сборник задач по математической физике. М. (1955)
  16. K. Kanaya, S. Okayama. J. Phys. D.: Appl. Phys. 5, 1, 43 (1972)
  17. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский анализ / Под ред. В.И. Петрова. Мир, М. (1984)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.